第512章 偉大的人無懼平臺（捉蟲）:你必須得幫我們
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第512章 偉大的人無懼平臺（捉蟲）:你必須得幫我們
辦公室裏，林本堅聽完了張汝京的敘述，露出了驚喜的笑容：“做出來了？太好了！恭喜她，恭喜他們。”
是的，是恭喜Miss王，是恭喜他們，而不是恭喜自己。
因為他從來都不認為自己是浸潤光刻的開山鼻祖。
嚴格來講，浸潤光刻不是多新奇的概念。
1984年日立的員工就曾申請過在鏡頭和光刻膠間加入液體的相關專利。1985年，Perkin-Elmer更是申請了鏡頭浸入水中的專利。
而在1987年，當時就職於IBM的他在公開學術會議上，提出的是將這類技術應用於249納米光刻焦深的方案。
是的，Miss王和她的團隊自稱是看了他的這篇論文，所以才對浸潤光刻產生了興趣，寫郵件給他，希望能得到更多的指點。
但林博士更加相信，他的那篇文章最大的意義是起了一個科普的作用，相當於一個先入門的人給後來者做了點兒介紹而已。
所以現在聽到後來者居上，既然已經做出了193納米波長的浸潤式光刻機的實驗機，他除了為對方高興之外，剩下的只有“果然，浸潤光刻理論是能從紙面走向現實的”。
其餘的，沒有了，真的沒有了。
張汝京正在一口餅幹，一口蘇打水。
他也是飛機上睡覺，下了飛機就幹活的典範。
整整20幾個小時，除了飛機上吃了一餐，他粒米未進，滴水未沾。先前趕路，情緒亢奮，還沒什麽感覺，現在真是饑腸轆轆。
得虧林博士是個善良的人，把自己的加班口糧貢獻了出來。
所以張博士才能好不容易咽下餅幹之後，好歹有體力說話了：“現在恭喜說的太早了，他們真的只是實驗機，連幹式193納米波長的原型機都造不出來的實驗機。所以，Burn，你必須得跟我走，你得幫他們。”
林本堅楞住了，下意識地反問了一句：“我幫他們？”
張汝京用力點頭：“對！這是一項偉大的突破，它的價值絲毫不遜色於紫外線光刻。”
他之所以特地把紫外線光刻拿出來說，是因為在80年代後期，也就是差不多十來年前，藍色巨人IBM乃至全球芯片界，一度卯足了勁兒搞X光光刻的研發。
當時就職於IBM華生研究中心的林本堅卻提出了不同的看法，認為應該做紫外線光刻。
因為X光的光源難以解決，需要大型粒子加速器提供穩定光源，操作難度系數高，而且很快就會抵達天花板，清晰度沒辦法繼續往上升。
相反的，做紫外線光刻，光源好說，操作簡單，提升空間也大。
可他不管怎麽向老板申請，甚至主動提出，只要X光項目組的1/10的經費，依然沒能獲得支持。
這也成為了他最終選擇離開IBM的原因之一。
而時間過了十多年，光刻機的發展歷程證明了，紫外線才是正確的選擇，深紫外光刻機先後推出了248納米、193納米等波長的技術，適配了半導體規模化生產的需求。
現在行業又開始推進極紫外（EUV）光刻研發。
與此同時，曾經風光一時的X光光刻機已經迅速被邊緣化。
張汝京眼睛閃閃發亮：“我敢打賭，十年，很可能只需要五年的時間，浸潤式光刻機就會向紫外光打敗X光一樣，成為新的主流。Burn，你又要創造歷史了！”
真是讓人羨慕呀。
但是被熱烈讚嘆的人還處於一種懵的狀態中，他努力消化著對方熱情洋溢的言語，不得不以冷靜客觀的態度提醒自己的同行：“Richard，不是我不願意參與到這項工作中去，而是我去了能做什麽呢？你太高估我的能力了。事實上，除了幫忙找一些資料之外，我自認為沒為他們做過什麽。”
他擺事實講道理，“鏡頭和光刻膠之間的液體選用去離子水，一開始就是Miss王自己選的，理由是芯片廠本來就用去離子水。後來因為去離子水會跟光刻膠產生反應，他們為了解決這個問題，確實給我寫了郵件，我認為是水中的雜質太多的原因，應該把水中的顆粒、有機物、微生物全部都去除掉，改成超純水。”
他實話實說，“這大概是我唯一為他們提出的有建設性的意見，而他們也采用了。除此之外，包括讓超純水持續流動的想法也是他們自己想的，理由是流水不腐，戶樞不蠹，流動的水才可能潔凈。”
這給他造成了不小的震撼，有一種萬事萬物的道理是貫通的感覺。
他得承認，他很願意跟這個團隊交流，他從郵件中感受到了他們火熱的熱情。這樣的熱情，是支撐所有事物發展的根本動力之所在。
可他不覺得自己具備非得加入這個團隊不可得的理由，他並不覺得自己進去以後能夠帶去什麽翻天覆地的變化。
張汝京吃驚不小。
他跑光刻機廠的行程匆匆忙忙，壓根顧不上問任何細枝末節，自然不知道液體使用水以及使用流動的水的方案竟然是Miss王自己提出來的。
科學的進步是多麽的奇妙啊，外行反而有的時候會產生一種詭異的直覺，然後神奇地推動了科技的進步。
張博士搖頭：“Burn，你不該妄自菲薄，所有人都知道你有多優秀。你為IBM工作了22年，你10度獲得美國IBM傑出發明獎、傑出優秀獎，你為IBM創造了多項世界第一，你申請的專利不計其數，相關資料堆滿了文件櫃。”
他認真地看著對方，“你應該知道自己有多優秀，IBM也知道你有多優秀，否則也不會在你離職的時候讓你不要去對手公司工作。你就是一枚核武器，你去哪兒都能引起翻天覆地的大爆·炸。”
林本堅被他的表情給逗笑了，搖頭道：“你太誇張了，太過獎了。”
張汝京可不允許他退縮。
他吃完最後一塊餅幹，將瓶中的蘇打水喝得一幹二凈，然後直截了當地提要求：“不管你怎麽想，我都要你跟我走一趟，親眼去上海看看浸潤式光刻機。我告訴你，我看它做出來的芯片時，我渾身都在發麻，跟通了電一樣。我感覺全世界都要發生翻天覆地的變化了，我必須得抓住它，我不能讓它錯失走掉。趕緊的，我現在陪你回家去拿證件，然後去申請簽證，立刻飛上海。”
林本堅做事也不是慢性子，但他屬於雅典派，碰上這種斯巴達作風，他整個人都懵了：“Richard，我還有工作要做，即便去上海，我也得把事情都安排好。”
“不，所有的事情都請往後面推！”張汝京的表情嚴肅，甚至到了嚴厲的地步，作為一個公認的溫和派大家長，他這樣的神情是很少見的，但他依然表達了自己強硬的態度，“一旦浸潤式光刻機徹底研發成功，能穩定供應，將會徹底改變整個半導體業界的發展。”
他自言自語一般，“我就知道應該要突破了，做芯片的工具迎來突破了。這就是最大的突破。Burn，既然你相信它會成功，那你就應該見證它的成功。”
他積極地游說，“跟我走吧，Burn，他們都非常期待你，但是提都不敢提。因為你以前是給IBM做事的，是大公司，應該看不上他們這樣的新人。但我告訴他們，偉大的人是因為自身而偉大，到哪兒都偉大，而不是因為某個平臺。Burn，上帝告訴我，你事業乃至人生的真正輝煌還沒有開始呢，現在必須得開始了。”
林本堅哭笑不得：“Richard，上帝會告訴你這些嗎？”
張汝京一本正經：“起碼你要去看，起碼你要看完了再做決定。他們就是一群偏科的學生，短板非常明顯，可一旦補上這個短板，上帝呀！上帝都會為你們鼓掌的。”
說著，他真拿出了一種不達目的誓不罷休的精神，硬生生地逼著林本堅跟同事簡單交代了工作，然後拿著車鑰匙帶他回家。
偏偏林本堅是出了名的好脾氣，除了技術之爭之外，他幾乎從來不跟任何人起爭執。
現在被比他大幾歲的張汝京逼著回家拿證件，又去華夏駐美大使館申請簽證，雖然他感覺非常無奈，但竟然也沒堅決反對。
畢竟，他得承認，他也非常好奇，好奇他在上海的同行們究竟做到了哪一步？
上帝啊，他是真的好奇，他們是怎麽控制水層的？這需要流體動力學專家的全力跟進吧。
林博士回家拿證件時，他妻子有點擔憂：“你真的要去上海嗎？你要去多久？”
“不用多長時間，前後最多一個禮拜。”他嘆了口氣，像是在自言自語，又想是在說服自己，“我總要看看的。”
去華夏大使館拿簽證的時候，大使館的人只簡單地看了看邀請函：“是L字旅游簽證？一個月的時間夠嗎？最長是兩個月的時間。”
1999年，沒有S2簽證。
外國人赴華處理探親之類私人事務，一般申請的都是L字旅游簽證，規定的停留期是30到60天。
張汝京陪著林本堅過來的，趕緊點頭回答：“夠了夠了，他要回去祭祖。”
工作人員沒二話，直接蓋章過簽。
林博士拿到簽證還有點無奈，他真不知道該怎麽說了，稀裏糊塗地竟然變成了回鄉祭祖，真是祖宗在上都要罵他的。
這封所謂的邀請函，大概率也是假的。
好吧，不是大概率，是肯定就是！
偏偏上了小轎車之後，張汝京還振振有詞：“你要靈活變通，這是最快的。如果要辦理F字簽證，你得提交合作方的邀約文件、考察行程細則等等一大堆材料，審核流程更繁瑣。不過這些還不是重點，重點是你容易被攔著。”
他嘆了口氣，“今時不同往日啊。”
1997年，他離開美國的時候，美國政府還沒有這麽敏感。當然也有可能是因為他是建廠專家，而不是專門搞技術的。
到了1999年，也就是今年3月份，任職於洛斯阿拉莫斯國家實驗室的華裔科學家李文和被美國能源部以違反安全條例為由，解雇了。
《紐約時報》隨即報道該事件，瞬間引發輿論嘩然。
就在這幾天，《考克斯報告》還將此案當作華夏竊取美國核機密的“證據”大肆炒作。
可想而知，現在的氛圍究竟有多緊張？
如果林本堅博士以商務考察的名頭去華夏，毫無疑問，他肯定會受到反覆盤問審查。因為半導體是高科技敏感領域啊，站在美國的角度來說，害怕技術外洩，再正常不過。
張汝京急著把人帶回華夏，實在沒空跟有關部門不停地磨。
如果不是因為林本堅剛好祖籍是華夏廣東，可以直接以祭祖的名義邀請，張博士都想以教會活動的理由，把人帶回華夏了。
果不其然，到有關部門辦手續的時候，林博士又被反覆盤問了，在後者再三確定自己確實就是去祭祖，而且孤身一人，妻子和孩子都不會跟著去的情況，他才被放行。
出來的時候，林博士都驚訝：“已經到這種程度了嗎？”
張汝京嘆氣：“都這樣，我聽老朋友說，現在特別敏感，就跟要排華一樣。”
其實這趟他飛美國之前，也沒想到這些事。因為他當時也沒有意識到風聲鶴唳。
是王老板提醒了他，準備了祭祖的邀請函，一再跟他強調，他們只能以私人行程的名義到華夏，否則很可能會引發不必要的麻煩。
事實證明，她真是直覺敏銳的驚人。或者說，也許是受她那位俄羅斯副總理未婚夫的影響，所以她對國際政治非常敏感。
林博士並非喜歡談論政治的人，聽到這兒也沒發表自己的意見。
張汝京同樣不打算跟人討論政治，他只提醒他：“你最好不要帶什麽技術資料，省的到時候過安檢，又要被反覆盤查。”
果不其然，辦完所有的手續，真正準備坐飛機出國的時候，林本堅行李又被反覆地翻看了，檢查人員甚至追問了兩次：“你的筆記本電腦呢？”
林博士實話實說：“我沒有帶筆記本電腦啊。”
結果對方咄咄逼人：“你為什麽不帶筆記本電腦？”
林博士不得不強調：“我是回鄉祭祖的，不是回去工作的，我帶筆記本電腦幹什麽？”
就這樣，對方還嘀嘀咕咕了半天，這才放行。
即便如此，大概是擔心他們暗度陳倉，張汝京的行李也被反覆地檢查。好在他確實只帶了簡單的換洗衣服，以及一點個人生活用品，比如說牙膏牙刷和毛巾之類的。
檢查員實在挑不出理，這才讓他們順利上了飛機。
林博士微微皺眉，實在不喜歡這段經歷。
可他是在美國深造，他拿的是美國國籍，又在美國工作了近30年，他實在說不出抱怨的話來。
他只期待飛機趕緊降落，早點看到浸潤式光刻機的實驗機，好消除這段不快的記憶。
兩人都是實幹派，上了飛機也不討論什麽技術問題了，省的又搞出不必要的麻煩。
不如眼睛一閉，直接一覺睡到上海，下飛機就能幹活。
王瀟的一顆心也是焦灼的不行，原本沒有期待的事情突然間有希望了，這份希望就會像火一樣焚燒你全身，讓你每個細胞都陷入深深的渴望和不安。
為了防止老板又開始大口喝酒或者幹吃泡椒來緩解情緒，保鏢們一致決定，讓她去看美男。
去哪兒看呢？去夜店點男模嗎？
不不不，他們還是要考慮伊萬諾夫先生哦感受的。
所以，去看真正的男模啊！
網店需要大量的模特來拍圖，這項業務自然肥水不流外人田，由向東的公司來承接。
所以向總就招攬了大批的新人模特。
事實證明，美男不可能永遠18歲，但永遠不缺18歲的美男。
乖乖個隆地咚，這些帥哥正兒八經長的鼻子是鼻子，眼睛是眼睛，最重要的是個個都有腹肌，穿衣顯瘦，脫衣有肉，特別適合拍照，也特別適合飽眼福。
王瀟就帶著柳芭，煞有介事地以評委的身份坐在那兒看著穿小短褲走來走去的帥哥們。
向東還調侃自己老板：“您眼光高，你看上的絕對是好的。”
王瀟的眼睛那叫一個毒辣呀，隨手指著前面走過來的深藍色眼睛的帥哥：“他的腹肌打了陰影。”
向東震驚了，趕緊把人叫過來，上手一摸，頓時火冒三丈：“不是讓你們別搞嗎，現在要看的是真材實料。”
旁邊的小帥哥多機靈啊，半秒鐘都不肯放過踩同行上位的機會，立刻跑到了王瀟面前，積極地自我推銷：“老板，我是真的自己練出來的，不信你摸摸看。”
王瀟毫不猶豫地上手摸了，哎，確實是真的。
柳芭也摸了，點頭表達肯定。
以後但等到小帥哥人被喊走了以後，她又實話實說：“這種都是花架子，一點力道都沒有。”
王瀟鬼笑著看她：“你看上了有力道的告訴我呀。”
兩人正在嘿嘿嘿，助理一路小跑跑過來：“確定了，已經上飛機了。”
王瀟猛地站起來，什麽美男也顧不上了，急著就要出發去機場。
助理不得不攔著自己老板：“飛過來要十幾個小時呢，現在不著急。”
然後王瀟更加焦灼了，再多的帥哥向她走來，她也看的跟紅顏白骨似的。
向東在旁邊嘆氣：“老板，你這個眼神，讓我感覺這一批人沒有一個能給我掙錢啊。”
王瀟扯扯嘴巴，敷衍地點點頭：“嗯嗯，不錯不錯，都不錯，記好了，要修圖的，好好修。”
網購賣的是什麽？就是圖啊。
一共前後15個小時的時間，王瀟也不知道自己是什麽熬過去。
中途她斷斷續續地睡了一覺，實在睡不著的時候還打電話騷擾了一回伊萬，好在有時差，對方沒睡覺。
否則，可憐的伊萬一天六個小時的睡眠時間都保證不了了。
好不容易熬到時間點，她趕緊坐上車去機場接人。
林本堅從出了虹橋國際機場就下意識地東張西望。
這是他第一次來上海，準確點講也是第一次來大陸，完全是出於對張汝京人品的信任和自己的好奇心驅使。
上海對他而言，更加像一個概念性的符號，的是一種歷史中的存在。
可是現在親眼看到了上海，那種生機勃勃的氣息隨風撲面而來，又清楚地告訴他，這是一座真真切切的城市，有無數真真切切的人。
王瀟早早等在通道前，大老遠就沖他們揮手，笑得跟向日葵一樣。
等人走近了之後，她更是誇張道：“天吶，林博士，我終於見到你了。”
林博士顯然不太適應這種浮誇的風格，還是張汝京眼明手快，直接敲定了下一個行程：“王老板，趕緊的吧，我們先去廠裏。”
王瀟高興得團團轉：“對對對，趕緊去廠裏吧，林博，大家都特別期待你。”
走到這一步，團隊也基本上走進死胡同了，所有人都期待著能有個人來過來指點迷津。
十幾個小時的飛機行程，是個人都覺得吃不消，況且這二位都五六十歲了。
可他倆楞是撐著，出了虹橋機場就直接坐車去浦東看光刻機廠。
這一路上，林本堅博士甚至沒有來得及好好看一看窗外的上海。
春夏之交，正是花木燦爛並且夏收即將來臨的季節，他也顧不上欣賞大自然的美景，只匆匆忙忙，一路跟著進了光刻機廠。
當他真的親眼看到浸潤式光刻機的時候，當他親眼看到機器工作的時候，他感覺自己的心臟都像被捏住了一樣。
一切都是上帝的安排，他的腦海裏模模糊糊的想著。
水是多麽神奇的一種存在，它在低溫下變成冰，密度變小，浮在水上，又保護了下面的水。
現在，水的折射的利用，可以讓光刻機直接提升兩個世代。
他緩緩地緩緩地吐出了一口氣，無比好奇：“你們是怎麽做到的？”
鄭教授感覺自己也說不清楚：“老天爺保佑吧。”
真的，回想整個研發過程，他都覺得有點稀裏糊塗的。不停地碰上問題，各種各樣的問題，然後不停地去找辦法解決。而解決問題的辦法也是五花八門，高科技也有，土法上馬的也有，各種亂七八糟。
林博士聽得津津有味，他現在相信來的路上，張博士跟他說的話了。
他們的思維非常活躍，因為是從頭開始，所以沒有框架的概念，什麽事情他們都敢做，對他們來說，沒有“這個絕對不行”。
林博士問出了自己最好奇的問題：“那你們如何解決水層穩定的問題？”
鄭教授直言不諱：“我們是跟俄羅斯還有白俄羅斯的實驗室合作的，他們在流體動力學這一塊有非常深厚的積累。”
他咧嘴笑了笑，“天冷的時候他們會過來待幾個月，天暖和了再回去，給了我們非常大的幫助。”
林博士雖然沒受過蘇式教育的影響，在蘇聯科技的發達，卻是大家心裏都有數的。
尤其一個磁流變拋光技術，足夠證明蘇聯科技的逆天。
他深吸一口氣：“那你們現在？”
“現在就是不穩定，太不穩定了。有很多很多問題要解決，林博，我們希望得到你的幫助。我們已經看到那束光了，我們知道，那就是對的，可是我們過不去，我們非常著急。”
鄭教授鄭重其事道，“林博，麻煩你幫幫我們吧。”
林本堅沒吭聲。
他如果現在投入過來做浸潤式光刻機，就意味著他要結束在美國所有的事業。
他的孩子已經長大了，不可能再跟著他跑。
這就意味著，他們夫妻會跟孩子分別。
況且，他在上海人生地不熟，對於紅色的華夏，他也不了解。
一個完全陌生的環境，讓他舍棄既往所有的生活，他實在難以下決心。
王瀟怕氣氛僵了，本著沒魚蝦也行，人來都來了，能物盡其用，就絕對不能讓人白來一趟的原則，主動提議：“林博，你要不要參觀一下我們光刻機廠？剛好也給我們提點指導意見嘛，我們做這個確實是新人。”
張汝京也趕緊附和：“對對，看一看，你給點撥一下，也讓大家少走彎路。”
林博士立刻謙虛道：“不敢當，能夠參觀你們工廠是我的榮幸。”
於是一群人又去看0.35微米制程的光刻機，順帶參觀車間。
突然間，林博士好奇道：“那是什麽？”
鄭教授解釋：“這是我們在做的雙工作臺。當時我們想的是，如果做浸潤式光刻機，水膜雖能提升曝光分辨率，卻會幹擾芯片測量的準確性，所以是不是應該搞兩個臺子更合適？剛好我們去船廠看到了雙工作臺，就想著我們也搞個雙工作臺。”
他笑了起來，“後來發現，這個好像哪怕搞不出浸潤式光刻機，雙工作臺也能用。它用在幹式光刻機上，也可以大大提高效率。我們搞光刻機技術，肯定追不上尼康佳能ASML這樣的大企業，首先專利就少。那我們現在能下功夫的，而且下了功夫就能看到效果的，也就是工藝了。”
“這樣同樣的技術水平，都不是最高端的技術水平，我們的效率高，人家用我們的機子生產芯片，平均成本就低，我們自然也就有競爭優勢，能夠跟其他廠家爭一爭了。”
這話說的多卑微啊。
一個已經搞出了世界上第1臺浸潤式光刻機實驗機的廠家，想的還是在低端領域競爭。
聽到林博士都說不清楚自己內心究竟是個什麽感受。
他出了廠房大門，才輕聲細語道：“可是我脫不開身啊，我在美國也有自己的工作要做。”
王瀟毫不猶豫：“要不這樣吧，林博，您能不能給我們當顧問？我們聘請您當首席顧問。我們需要你，請你一定要幫我們。”
算了，不能直接雇傭人家，也不能買人家的公司，更不能指望對方公司過來投資，大家合資一起搞——美國對這方面的限制很嚴重。
那就只能退而求其次，再請一位首席顧問了。
不管三七二十一，反正現在立刻動起來是真的。
否則等到佳能和尼康這樣的大廠反應過來，開始投入做浸潤式光刻機。以人家的技術底蘊，分分鐘就能反超。
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註：真實的情況下，張汝京和林本堅的交談應該會把光刻稱之為微影，就好像我們一般會說芯片代工，但是在臺灣會稱之為晶圓代工，小說裏面我沒有這麽說，是為了方便大家理解，否則代表同一事物的名詞太多的話，可能容易讓人理解混亂。
此外，關於林本堅博士對浸潤式光刻機的貢獻，ASML的Jan Mulkens在2001年12月的157納米光刻技術大會上，和行業人士共同討論過鏡頭下加純凈水提升分辨率的思路，這一思路源於顯微鏡領域的舊有光學現象，且IBM在80年代就描述過該現象在光刻中的應用。Jan會後就組建團隊做基礎測試，但此時只是停留在早期概念驗證。而林本堅是在2002年國際光電學會研討會上，首次系統且針對性地提出將193納米機臺搭配高純度水作為介質的實用化方案，還算出等效波長可達134納米，這個方案直接直指當時157納米幹式光刻的成本與技術瓶頸，具備明確的商業化落地價值，和Jan此前接觸的寬泛概念有著本質區別。
林本堅提出方案後，因當時尼康、佳能等大廠已在157納米技術上投入數十億美元而遭冷遇。他花了一年時間游說設備廠，期間臺積電的張忠謀、蔣尚義給予其全力支持。
按照林本堅本人的自述：轟動歸轟動，要說服光刻機臺的廠商研發並量產浸潤式機臺卻困難重重。問題出在全世界的研發方向都朝向157納米，不但有很多廠商和研發單位投註到這波長，而且全球對157納米的投資遠超過10億美元；單單一家光刻機臺的廠商號稱已投資超過7億多美元。他們覺得我在攪局，並想說服我的老板阻止我。幸虧蔣尚義老板很有見識，也相信我的能力，並沒有采取行動。
我和組內的同仁必須寫好幾篇論文，從理論的觀點證明浸潤式微影的可行性及優勢，並駁斥一些錯誤的負面看法。我們也及早申請了應該申請的專利，並繼續在國際技術討論會發表論文。最重要的是必須說服廠商提供機臺。
因此我常奔跑荷、德、美、日各地作技術和商業的交談。這樣辛苦耕耘了一年多，在2003年的10月，我們到荷蘭作技術討論時，愛斯摩爾公司給我們看剛剛趕出來的第一片用浸潤式光刻機在光阻上的成像。當然皆大歡喜。接著臺積電和愛斯摩爾兩個公司用很多年的苦功，把機臺和制程研發到可以把浸潤式微影駕輕就熟地用在量產上。
此外，2015年6月9日，林本堅曾蒞臨北京大學，做客信息技術與信息化名家講壇並做學術報告，主題為《納米光刻技術的精髓》。這一公開的學術交流活動，是他踏上大陸的直接佐證，並非外界傳言的從未與大陸有過往來。
另外，李文和案是千禧年前後一件非常轟動的事件。
按照網絡的說法，李文和案是1990年代末美國以“核機密洩漏”為由針對華裔科學家李文和發起的一起充滿種族偏見的冤假錯案，最終李文和洗清間諜嫌疑並獲賠償，具體過程如下：
1.鎖定目標與初步調查：1996年，美國聯邦調查局調查所謂“中國竊取W -88微型核彈頭資料”一事，將任職於洛斯阿拉莫斯國家實驗室的華裔科學家李文和列為懷疑目標。1998年他接受了FBI的測謊檢查並通過，但仍被迫離開核心研究部門。
2.事件升級與惡意指控：1999年3月，李文和被美國能源部以違反安全條例解雇，《紐約時報》隨即報道該事件，相關言論引發輿論嘩然；同年5月的《考克斯報告》還將此案當作中國竊取美國核機密的“證據”大肆炒作。不過當年8月，就有實驗室前反諜報主管承認，調查中並無李文和洩密的實質證據。
3.起訴與監禁：1999年12月，美國司法部因無證據無法以間諜罪起訴，轉而以“非法獲取重要機密”等59項罪名逮捕李文和。他被單獨監禁期間遭受了嚴苛對待，直到2000年8月才獲準交保獲釋。後續司法部也承認，李文和下載材料實為找工作所用，與間諜活動無關。
4.和解與賠償：2001年9月李文和徹底恢覆自由。2006年6月，美國能源部、司法部及五家主流媒體與他達成和解，賠償其160萬美元，其中政府支付的款項用於抵扣律師費，媒體賠償款歸其個人所有，這場鬧劇以李文和維權成功告終。
1999年，真實的歷史上真的發生了好多事
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辦公室裏，林本堅聽完了張汝京的敘述，露出了驚喜的笑容：“做出來了？太好了！恭喜她，恭喜他們。”
是的，是恭喜Miss王，是恭喜他們，而不是恭喜自己。
因為他從來都不認為自己是浸潤光刻的開山鼻祖。
嚴格來講，浸潤光刻不是多新奇的概念。
1984年日立的員工就曾申請過在鏡頭和光刻膠間加入液體的相關專利。1985年，Perkin-Elmer更是申請了鏡頭浸入水中的專利。
而在1987年，當時就職於IBM的他在公開學術會議上，提出的是將這類技術應用於249納米光刻焦深的方案。
是的，Miss王和她的團隊自稱是看了他的這篇論文，所以才對浸潤光刻產生了興趣，寫郵件給他，希望能得到更多的指點。
但林博士更加相信，他的那篇文章最大的意義是起了一個科普的作用，相當於一個先入門的人給後來者做了點兒介紹而已。
所以現在聽到後來者居上，既然已經做出了193納米波長的浸潤式光刻機的實驗機，他除了為對方高興之外，剩下的只有“果然，浸潤光刻理論是能從紙面走向現實的”。
其餘的，沒有了，真的沒有了。
張汝京正在一口餅幹，一口蘇打水。
他也是飛機上睡覺，下了飛機就幹活的典範。
整整20幾個小時，除了飛機上吃了一餐，他粒米未進，滴水未沾。先前趕路，情緒亢奮，還沒什麽感覺，現在真是饑腸轆轆。
得虧林博士是個善良的人，把自己的加班口糧貢獻了出來。
所以張博士才能好不容易咽下餅幹之後，好歹有體力說話了：“現在恭喜說的太早了，他們真的只是實驗機，連幹式193納米波長的原型機都造不出來的實驗機。所以，Burn，你必須得跟我走，你得幫他們。”
林本堅楞住了，下意識地反問了一句：“我幫他們？”
張汝京用力點頭：“對！這是一項偉大的突破，它的價值絲毫不遜色於紫外線光刻。”
他之所以特地把紫外線光刻拿出來說，是因為在80年代後期，也就是差不多十來年前，藍色巨人IBM乃至全球芯片界，一度卯足了勁兒搞X光光刻的研發。
當時就職於IBM華生研究中心的林本堅卻提出了不同的看法，認為應該做紫外線光刻。
因為X光的光源難以解決，需要大型粒子加速器提供穩定光源，操作難度系數高，而且很快就會抵達天花板，清晰度沒辦法繼續往上升。
相反的，做紫外線光刻，光源好說，操作簡單，提升空間也大。
可他不管怎麽向老板申請，甚至主動提出，只要X光項目組的1/10的經費，依然沒能獲得支持。
這也成為了他最終選擇離開IBM的原因之一。
而時間過了十多年，光刻機的發展歷程證明了，紫外線才是正確的選擇，深紫外光刻機先後推出了248納米、193納米等波長的技術，適配了半導體規模化生產的需求。
現在行業又開始推進極紫外（EUV）光刻研發。
與此同時，曾經風光一時的X光光刻機已經迅速被邊緣化。
張汝京眼睛閃閃發亮：“我敢打賭，十年，很可能只需要五年的時間，浸潤式光刻機就會向紫外光打敗X光一樣，成為新的主流。Burn，你又要創造歷史了！”
真是讓人羨慕呀。
但是被熱烈讚嘆的人還處於一種懵的狀態中，他努力消化著對方熱情洋溢的言語，不得不以冷靜客觀的態度提醒自己的同行：“Richard，不是我不願意參與到這項工作中去，而是我去了能做什麽呢？你太高估我的能力了。事實上，除了幫忙找一些資料之外，我自認為沒為他們做過什麽。”
他擺事實講道理，“鏡頭和光刻膠之間的液體選用去離子水，一開始就是Miss王自己選的，理由是芯片廠本來就用去離子水。後來因為去離子水會跟光刻膠產生反應，他們為了解決這個問題，確實給我寫了郵件，我認為是水中的雜質太多的原因，應該把水中的顆粒、有機物、微生物全部都去除掉，改成超純水。”
他實話實說，“這大概是我唯一為他們提出的有建設性的意見，而他們也采用了。除此之外，包括讓超純水持續流動的想法也是他們自己想的，理由是流水不腐，戶樞不蠹，流動的水才可能潔凈。”
這給他造成了不小的震撼，有一種萬事萬物的道理是貫通的感覺。
他得承認，他很願意跟這個團隊交流，他從郵件中感受到了他們火熱的熱情。這樣的熱情，是支撐所有事物發展的根本動力之所在。
可他不覺得自己具備非得加入這個團隊不可得的理由，他並不覺得自己進去以後能夠帶去什麽翻天覆地的變化。
張汝京吃驚不小。
他跑光刻機廠的行程匆匆忙忙，壓根顧不上問任何細枝末節，自然不知道液體使用水以及使用流動的水的方案竟然是Miss王自己提出來的。
科學的進步是多麽的奇妙啊，外行反而有的時候會產生一種詭異的直覺，然後神奇地推動了科技的進步。
張博士搖頭：“Burn，你不該妄自菲薄，所有人都知道你有多優秀。你為IBM工作了22年，你10度獲得美國IBM傑出發明獎、傑出優秀獎，你為IBM創造了多項世界第一，你申請的專利不計其數，相關資料堆滿了文件櫃。”
他認真地看著對方，“你應該知道自己有多優秀，IBM也知道你有多優秀，否則也不會在你離職的時候讓你不要去對手公司工作。你就是一枚核武器，你去哪兒都能引起翻天覆地的大爆·炸。”
林本堅被他的表情給逗笑了，搖頭道：“你太誇張了，太過獎了。”
張汝京可不允許他退縮。
他吃完最後一塊餅幹，將瓶中的蘇打水喝得一幹二凈，然後直截了當地提要求：“不管你怎麽想，我都要你跟我走一趟，親眼去上海看看浸潤式光刻機。我告訴你，我看它做出來的芯片時，我渾身都在發麻，跟通了電一樣。我感覺全世界都要發生翻天覆地的變化了，我必須得抓住它，我不能讓它錯失走掉。趕緊的，我現在陪你回家去拿證件，然後去申請簽證，立刻飛上海。”
林本堅做事也不是慢性子，但他屬於雅典派，碰上這種斯巴達作風，他整個人都懵了：“Richard，我還有工作要做，即便去上海，我也得把事情都安排好。”
“不，所有的事情都請往後面推！”張汝京的表情嚴肅，甚至到了嚴厲的地步，作為一個公認的溫和派大家長，他這樣的神情是很少見的，但他依然表達了自己強硬的態度，“一旦浸潤式光刻機徹底研發成功，能穩定供應，將會徹底改變整個半導體業界的發展。”
他自言自語一般，“我就知道應該要突破了，做芯片的工具迎來突破了。這就是最大的突破。Burn，既然你相信它會成功，那你就應該見證它的成功。”
他積極地游說，“跟我走吧，Burn，他們都非常期待你，但是提都不敢提。因為你以前是給IBM做事的，是大公司，應該看不上他們這樣的新人。但我告訴他們，偉大的人是因為自身而偉大，到哪兒都偉大，而不是因為某個平臺。Burn，上帝告訴我，你事業乃至人生的真正輝煌還沒有開始呢，現在必須得開始了。”
林本堅哭笑不得：“Richard，上帝會告訴你這些嗎？”
張汝京一本正經：“起碼你要去看，起碼你要看完了再做決定。他們就是一群偏科的學生，短板非常明顯，可一旦補上這個短板，上帝呀！上帝都會為你們鼓掌的。”
說著，他真拿出了一種不達目的誓不罷休的精神，硬生生地逼著林本堅跟同事簡單交代了工作，然後拿著車鑰匙帶他回家。
偏偏林本堅是出了名的好脾氣，除了技術之爭之外，他幾乎從來不跟任何人起爭執。
現在被比他大幾歲的張汝京逼著回家拿證件，又去華夏駐美大使館申請簽證，雖然他感覺非常無奈，但竟然也沒堅決反對。
畢竟，他得承認，他也非常好奇，好奇他在上海的同行們究竟做到了哪一步？
上帝啊，他是真的好奇，他們是怎麽控制水層的？這需要流體動力學專家的全力跟進吧。
林博士回家拿證件時，他妻子有點擔憂：“你真的要去上海嗎？你要去多久？”
“不用多長時間，前後最多一個禮拜。”他嘆了口氣，像是在自言自語，又想是在說服自己，“我總要看看的。”
去華夏大使館拿簽證的時候，大使館的人只簡單地看了看邀請函：“是L字旅游簽證？一個月的時間夠嗎？最長是兩個月的時間。”
1999年，沒有S2簽證。
外國人赴華處理探親之類私人事務，一般申請的都是L字旅游簽證，規定的停留期是30到60天。
張汝京陪著林本堅過來的，趕緊點頭回答：“夠了夠了，他要回去祭祖。”
工作人員沒二話，直接蓋章過簽。
林博士拿到簽證還有點無奈，他真不知道該怎麽說了，稀裏糊塗地竟然變成了回鄉祭祖，真是祖宗在上都要罵他的。
這封所謂的邀請函，大概率也是假的。
好吧，不是大概率，是肯定就是！
偏偏上了小轎車之後，張汝京還振振有詞：“你要靈活變通，這是最快的。如果要辦理F字簽證，你得提交合作方的邀約文件、考察行程細則等等一大堆材料，審核流程更繁瑣。不過這些還不是重點，重點是你容易被攔著。”
他嘆了口氣，“今時不同往日啊。”
1997年，他離開美國的時候，美國政府還沒有這麽敏感。當然也有可能是因為他是建廠專家，而不是專門搞技術的。
到了1999年，也就是今年3月份，任職於洛斯阿拉莫斯國家實驗室的華裔科學家李文和被美國能源部以違反安全條例為由，解雇了。
《紐約時報》隨即報道該事件，瞬間引發輿論嘩然。
就在這幾天，《考克斯報告》還將此案當作華夏竊取美國核機密的“證據”大肆炒作。
可想而知，現在的氛圍究竟有多緊張？
如果林本堅博士以商務考察的名頭去華夏，毫無疑問，他肯定會受到反覆盤問審查。因為半導體是高科技敏感領域啊，站在美國的角度來說，害怕技術外洩，再正常不過。
張汝京急著把人帶回華夏，實在沒空跟有關部門不停地磨。
如果不是因為林本堅剛好祖籍是華夏廣東，可以直接以祭祖的名義邀請，張博士都想以教會活動的理由，把人帶回華夏了。
果不其然，到有關部門辦手續的時候，林博士又被反覆盤問了，在後者再三確定自己確實就是去祭祖，而且孤身一人，妻子和孩子都不會跟著去的情況，他才被放行。
出來的時候，林博士都驚訝：“已經到這種程度了嗎？”
張汝京嘆氣：“都這樣，我聽老朋友說，現在特別敏感，就跟要排華一樣。”
其實這趟他飛美國之前，也沒想到這些事。因為他當時也沒有意識到風聲鶴唳。
是王老板提醒了他，準備了祭祖的邀請函，一再跟他強調，他們只能以私人行程的名義到華夏，否則很可能會引發不必要的麻煩。
事實證明，她真是直覺敏銳的驚人。或者說，也許是受她那位俄羅斯副總理未婚夫的影響，所以她對國際政治非常敏感。
林博士並非喜歡談論政治的人，聽到這兒也沒發表自己的意見。
張汝京同樣不打算跟人討論政治，他只提醒他：“你最好不要帶什麽技術資料，省的到時候過安檢，又要被反覆盤查。”
果不其然，辦完所有的手續，真正準備坐飛機出國的時候，林本堅行李又被反覆地翻看了，檢查人員甚至追問了兩次：“你的筆記本電腦呢？”
林博士實話實說：“我沒有帶筆記本電腦啊。”
結果對方咄咄逼人：“你為什麽不帶筆記本電腦？”
林博士不得不強調：“我是回鄉祭祖的，不是回去工作的，我帶筆記本電腦幹什麽？”
就這樣，對方還嘀嘀咕咕了半天，這才放行。
即便如此，大概是擔心他們暗度陳倉，張汝京的行李也被反覆地檢查。好在他確實只帶了簡單的換洗衣服，以及一點個人生活用品，比如說牙膏牙刷和毛巾之類的。
檢查員實在挑不出理，這才讓他們順利上了飛機。
林博士微微皺眉，實在不喜歡這段經歷。
可他是在美國深造，他拿的是美國國籍，又在美國工作了近30年，他實在說不出抱怨的話來。
他只期待飛機趕緊降落，早點看到浸潤式光刻機的實驗機，好消除這段不快的記憶。
兩人都是實幹派，上了飛機也不討論什麽技術問題了，省的又搞出不必要的麻煩。
不如眼睛一閉，直接一覺睡到上海，下飛機就能幹活。
王瀟的一顆心也是焦灼的不行，原本沒有期待的事情突然間有希望了，這份希望就會像火一樣焚燒你全身，讓你每個細胞都陷入深深的渴望和不安。
為了防止老板又開始大口喝酒或者幹吃泡椒來緩解情緒，保鏢們一致決定，讓她去看美男。
去哪兒看呢？去夜店點男模嗎？
不不不，他們還是要考慮伊萬諾夫先生哦感受的。
所以，去看真正的男模啊！
網店需要大量的模特來拍圖，這項業務自然肥水不流外人田，由向東的公司來承接。
所以向總就招攬了大批的新人模特。
事實證明，美男不可能永遠18歲，但永遠不缺18歲的美男。
乖乖個隆地咚，這些帥哥正兒八經長的鼻子是鼻子，眼睛是眼睛，最重要的是個個都有腹肌，穿衣顯瘦，脫衣有肉，特別適合拍照，也特別適合飽眼福。
王瀟就帶著柳芭，煞有介事地以評委的身份坐在那兒看著穿小短褲走來走去的帥哥們。
向東還調侃自己老板：“您眼光高，你看上的絕對是好的。”
王瀟的眼睛那叫一個毒辣呀，隨手指著前面走過來的深藍色眼睛的帥哥：“他的腹肌打了陰影。”
向東震驚了，趕緊把人叫過來，上手一摸，頓時火冒三丈：“不是讓你們別搞嗎，現在要看的是真材實料。”
旁邊的小帥哥多機靈啊，半秒鐘都不肯放過踩同行上位的機會，立刻跑到了王瀟面前，積極地自我推銷：“老板，我是真的自己練出來的，不信你摸摸看。”
王瀟毫不猶豫地上手摸了，哎，確實是真的。
柳芭也摸了，點頭表達肯定。
以後但等到小帥哥人被喊走了以後，她又實話實說：“這種都是花架子，一點力道都沒有。”
王瀟鬼笑著看她：“你看上了有力道的告訴我呀。”
兩人正在嘿嘿嘿，助理一路小跑跑過來：“確定了，已經上飛機了。”
王瀟猛地站起來，什麽美男也顧不上了，急著就要出發去機場。
助理不得不攔著自己老板：“飛過來要十幾個小時呢，現在不著急。”
然後王瀟更加焦灼了，再多的帥哥向她走來，她也看的跟紅顏白骨似的。
向東在旁邊嘆氣：“老板，你這個眼神，讓我感覺這一批人沒有一個能給我掙錢啊。”
王瀟扯扯嘴巴，敷衍地點點頭：“嗯嗯，不錯不錯，都不錯，記好了，要修圖的，好好修。”
網購賣的是什麽？就是圖啊。
一共前後15個小時的時間，王瀟也不知道自己是什麽熬過去。
中途她斷斷續續地睡了一覺，實在睡不著的時候還打電話騷擾了一回伊萬，好在有時差，對方沒睡覺。
否則，可憐的伊萬一天六個小時的睡眠時間都保證不了了。
好不容易熬到時間點，她趕緊坐上車去機場接人。
林本堅從出了虹橋國際機場就下意識地東張西望。
這是他第一次來上海，準確點講也是第一次來大陸，完全是出於對張汝京人品的信任和自己的好奇心驅使。
上海對他而言，更加像一個概念性的符號，的是一種歷史中的存在。
可是現在親眼看到了上海，那種生機勃勃的氣息隨風撲面而來，又清楚地告訴他，這是一座真真切切的城市，有無數真真切切的人。
王瀟早早等在通道前，大老遠就沖他們揮手，笑得跟向日葵一樣。
等人走近了之後，她更是誇張道：“天吶，林博士，我終於見到你了。”
林博士顯然不太適應這種浮誇的風格，還是張汝京眼明手快，直接敲定了下一個行程：“王老板，趕緊的吧，我們先去廠裏。”
王瀟高興得團團轉：“對對對，趕緊去廠裏吧，林博，大家都特別期待你。”
走到這一步，團隊也基本上走進死胡同了，所有人都期待著能有個人來過來指點迷津。
十幾個小時的飛機行程，是個人都覺得吃不消，況且這二位都五六十歲了。
可他倆楞是撐著，出了虹橋機場就直接坐車去浦東看光刻機廠。
這一路上，林本堅博士甚至沒有來得及好好看一看窗外的上海。
春夏之交，正是花木燦爛並且夏收即將來臨的季節，他也顧不上欣賞大自然的美景，只匆匆忙忙，一路跟著進了光刻機廠。
當他真的親眼看到浸潤式光刻機的時候，當他親眼看到機器工作的時候，他感覺自己的心臟都像被捏住了一樣。
一切都是上帝的安排，他的腦海裏模模糊糊的想著。
水是多麽神奇的一種存在，它在低溫下變成冰，密度變小，浮在水上，又保護了下面的水。
現在，水的折射的利用，可以讓光刻機直接提升兩個世代。
他緩緩地緩緩地吐出了一口氣，無比好奇：“你們是怎麽做到的？”
鄭教授感覺自己也說不清楚：“老天爺保佑吧。”
真的，回想整個研發過程，他都覺得有點稀裏糊塗的。不停地碰上問題，各種各樣的問題，然後不停地去找辦法解決。而解決問題的辦法也是五花八門，高科技也有，土法上馬的也有，各種亂七八糟。
林博士聽得津津有味，他現在相信來的路上，張博士跟他說的話了。
他們的思維非常活躍，因為是從頭開始，所以沒有框架的概念，什麽事情他們都敢做，對他們來說，沒有“這個絕對不行”。
林博士問出了自己最好奇的問題：“那你們如何解決水層穩定的問題？”
鄭教授直言不諱：“我們是跟俄羅斯還有白俄羅斯的實驗室合作的，他們在流體動力學這一塊有非常深厚的積累。”
他咧嘴笑了笑，“天冷的時候他們會過來待幾個月，天暖和了再回去，給了我們非常大的幫助。”
林博士雖然沒受過蘇式教育的影響，在蘇聯科技的發達，卻是大家心裏都有數的。
尤其一個磁流變拋光技術，足夠證明蘇聯科技的逆天。
他深吸一口氣：“那你們現在？”
“現在就是不穩定，太不穩定了。有很多很多問題要解決，林博，我們希望得到你的幫助。我們已經看到那束光了，我們知道，那就是對的，可是我們過不去，我們非常著急。”
鄭教授鄭重其事道，“林博，麻煩你幫幫我們吧。”
林本堅沒吭聲。
他如果現在投入過來做浸潤式光刻機，就意味著他要結束在美國所有的事業。
他的孩子已經長大了，不可能再跟著他跑。
這就意味著，他們夫妻會跟孩子分別。
況且，他在上海人生地不熟，對於紅色的華夏，他也不了解。
一個完全陌生的環境，讓他舍棄既往所有的生活，他實在難以下決心。
王瀟怕氣氛僵了，本著沒魚蝦也行，人來都來了，能物盡其用，就絕對不能讓人白來一趟的原則，主動提議：“林博，你要不要參觀一下我們光刻機廠？剛好也給我們提點指導意見嘛，我們做這個確實是新人。”
張汝京也趕緊附和：“對對，看一看，你給點撥一下，也讓大家少走彎路。”
林博士立刻謙虛道：“不敢當，能夠參觀你們工廠是我的榮幸。”
於是一群人又去看0.35微米制程的光刻機，順帶參觀車間。
突然間，林博士好奇道：“那是什麽？”
鄭教授解釋：“這是我們在做的雙工作臺。當時我們想的是，如果做浸潤式光刻機，水膜雖能提升曝光分辨率，卻會幹擾芯片測量的準確性，所以是不是應該搞兩個臺子更合適？剛好我們去船廠看到了雙工作臺，就想著我們也搞個雙工作臺。”
他笑了起來，“後來發現，這個好像哪怕搞不出浸潤式光刻機，雙工作臺也能用。它用在幹式光刻機上，也可以大大提高效率。我們搞光刻機技術，肯定追不上尼康佳能ASML這樣的大企業，首先專利就少。那我們現在能下功夫的，而且下了功夫就能看到效果的，也就是工藝了。”
“這樣同樣的技術水平，都不是最高端的技術水平，我們的效率高，人家用我們的機子生產芯片，平均成本就低，我們自然也就有競爭優勢，能夠跟其他廠家爭一爭了。”
這話說的多卑微啊。
一個已經搞出了世界上第1臺浸潤式光刻機實驗機的廠家，想的還是在低端領域競爭。
聽到林博士都說不清楚自己內心究竟是個什麽感受。
他出了廠房大門，才輕聲細語道：“可是我脫不開身啊，我在美國也有自己的工作要做。”
王瀟毫不猶豫：“要不這樣吧，林博，您能不能給我們當顧問？我們聘請您當首席顧問。我們需要你，請你一定要幫我們。”
算了，不能直接雇傭人家，也不能買人家的公司，更不能指望對方公司過來投資，大家合資一起搞——美國對這方面的限制很嚴重。
那就只能退而求其次，再請一位首席顧問了。
不管三七二十一，反正現在立刻動起來是真的。
否則等到佳能和尼康這樣的大廠反應過來，開始投入做浸潤式光刻機。以人家的技術底蘊，分分鐘就能反超。
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註：真實的情況下，張汝京和林本堅的交談應該會把光刻稱之為微影，就好像我們一般會說芯片代工，但是在臺灣會稱之為晶圓代工，小說裏面我沒有這麽說，是為了方便大家理解，否則代表同一事物的名詞太多的話，可能容易讓人理解混亂。
此外，關於林本堅博士對浸潤式光刻機的貢獻，ASML的Jan Mulkens在2001年12月的157納米光刻技術大會上，和行業人士共同討論過鏡頭下加純凈水提升分辨率的思路，這一思路源於顯微鏡領域的舊有光學現象，且IBM在80年代就描述過該現象在光刻中的應用。Jan會後就組建團隊做基礎測試，但此時只是停留在早期概念驗證。而林本堅是在2002年國際光電學會研討會上，首次系統且針對性地提出將193納米機臺搭配高純度水作為介質的實用化方案，還算出等效波長可達134納米，這個方案直接直指當時157納米幹式光刻的成本與技術瓶頸，具備明確的商業化落地價值，和Jan此前接觸的寬泛概念有著本質區別。
林本堅提出方案後，因當時尼康、佳能等大廠已在157納米技術上投入數十億美元而遭冷遇。他花了一年時間游說設備廠，期間臺積電的張忠謀、蔣尚義給予其全力支持。
按照林本堅本人的自述：轟動歸轟動，要說服光刻機臺的廠商研發並量產浸潤式機臺卻困難重重。問題出在全世界的研發方向都朝向157納米，不但有很多廠商和研發單位投註到這波長，而且全球對157納米的投資遠超過10億美元；單單一家光刻機臺的廠商號稱已投資超過7億多美元。他們覺得我在攪局，並想說服我的老板阻止我。幸虧蔣尚義老板很有見識，也相信我的能力，並沒有采取行動。
我和組內的同仁必須寫好幾篇論文，從理論的觀點證明浸潤式微影的可行性及優勢，並駁斥一些錯誤的負面看法。我們也及早申請了應該申請的專利，並繼續在國際技術討論會發表論文。最重要的是必須說服廠商提供機臺。
因此我常奔跑荷、德、美、日各地作技術和商業的交談。這樣辛苦耕耘了一年多，在2003年的10月，我們到荷蘭作技術討論時，愛斯摩爾公司給我們看剛剛趕出來的第一片用浸潤式光刻機在光阻上的成像。當然皆大歡喜。接著臺積電和愛斯摩爾兩個公司用很多年的苦功，把機臺和制程研發到可以把浸潤式微影駕輕就熟地用在量產上。
此外，2015年6月9日，林本堅曾蒞臨北京大學，做客信息技術與信息化名家講壇並做學術報告，主題為《納米光刻技術的精髓》。這一公開的學術交流活動，是他踏上大陸的直接佐證，並非外界傳言的從未與大陸有過往來。
另外，李文和案是千禧年前後一件非常轟動的事件。
按照網絡的說法，李文和案是1990年代末美國以“核機密洩漏”為由針對華裔科學家李文和發起的一起充滿種族偏見的冤假錯案，最終李文和洗清間諜嫌疑並獲賠償，具體過程如下：
1.鎖定目標與初步調查：1996年，美國聯邦調查局調查所謂“中國竊取W -88微型核彈頭資料”一事，將任職於洛斯阿拉莫斯國家實驗室的華裔科學家李文和列為懷疑目標。1998年他接受了FBI的測謊檢查並通過，但仍被迫離開核心研究部門。
2.事件升級與惡意指控：1999年3月，李文和被美國能源部以違反安全條例解雇，《紐約時報》隨即報道該事件，相關言論引發輿論嘩然；同年5月的《考克斯報告》還將此案當作中國竊取美國核機密的“證據”大肆炒作。不過當年8月，就有實驗室前反諜報主管承認，調查中並無李文和洩密的實質證據。
3.起訴與監禁：1999年12月，美國司法部因無證據無法以間諜罪起訴，轉而以“非法獲取重要機密”等59項罪名逮捕李文和。他被單獨監禁期間遭受了嚴苛對待，直到2000年8月才獲準交保獲釋。後續司法部也承認，李文和下載材料實為找工作所用，與間諜活動無關。
4.和解與賠償：2001年9月李文和徹底恢覆自由。2006年6月，美國能源部、司法部及五家主流媒體與他達成和解，賠償其160萬美元，其中政府支付的款項用於抵扣律師費，媒體賠償款歸其個人所有，這場鬧劇以李文和維權成功告終。
1999年，真實的歷史上真的發生了好多事
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