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第三百九十六章 投影曝光

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如果沒有周碩的幹擾,從0.35微米工藝向0.25微米工藝過渡的光刻機,真實歷史上實際使用的是步進重覆投影曝光技術。

在0.35微米工藝及之前,光刻機光學掩膜版的制作要求是非常高的。基本上和生產的芯片,是一對一全比例設計。

掩膜版投射的鏡頭需要與矽片進行完全的接觸,接觸中甚至要抽成真空狀態。然後光源系統的激光打到掩膜版上,投影部分的光刻膠就會被蒸發掉。把這樣的晶圓放到蝕刻機裏面,化學藥品就會將沒有覆蓋光刻膠的部分腐蝕掉,然後再把晶圓轉移到離子註入機上進行離子註入……

把鏡頭和晶圓直接接觸,或者兩者之間只有小縫隙的接近,這種光刻機被稱之為接觸、接近式曝光技術。因為使用這種技術的光刻機鏡頭要和晶圓進行完全的接觸,對掩膜版、鏡頭、晶圓和光刻膠都有非常高的要求。

這種設計自有其好的一面,對鏡頭精度要求低,系統覆雜度低,以及成像質量高之類的優點。但也有其致命的缺陷,0.35微米工藝基本上就是其經濟性的極限了。

0.25微米工藝光刻機想要延續接觸式曝光,整個系統需要的機械精密程度,掩膜版的成本、掩膜版和矽片的接觸緊密度,系統的集成難度都開始了幾何級數的增加。

於是在原本的歷史上,尼康也好、阿斯麥也好都選擇了另一條路,那就是非接觸式曝光。也就是投影式曝光技術。

這種技術說白了,就是好像平常用放大鏡聚集太陽光一樣。用棱鏡系統將光源從遠處投射到矽片上。這樣經過幾次聚焦、折射、再聚焦,最終投影到矽片上的圖形比掩膜版甚至可以小上4倍。

對於沈浸式光刻技術而言。投影式曝光技術最大的好處就是——避免了使用防水光刻膠的高成本。

其實說起來,周碩現在真的很想哈哈大笑一下,以發洩自己內心的暢快!

日本人費盡心思弄到了防水光刻膠的技術,原本他們這個技術至少是可以吃一代光刻機沒問題的。歷史上,早期沈浸式光刻機系統也是使用防水光刻膠的接近式光刻機,直到投影式光刻機成為主流防水光刻膠才退出了歷史舞臺。

他現在拿出來的這份文件,自然就是投影式光刻機的技術專利,可以說這項技術一出防水光刻膠就是一個廢物了!

鶴田剛開始還不以為然,在他的心裏早就已經認為泛翰集團是砧板上的魚肉。哪裏還有什麽翻盤的機會?

這個年代裏,日本人不僅是驕傲的,而且也非常有驕傲的資本。整個九十年代,世界十大晶圓廠,日本人占了半數還多!

在鶴田和所有日本人看來,中國人能拿出沈浸式光刻技術純粹就是瞎貓碰死耗子,反正搞舉國體制不正是共產國際的強項嘛!

除了沈浸式光刻技術這種獨辟蹊徑的取巧之道,日本人絕不相信泛翰集團還能在其他方向產生突破,他們手裏的底牌也就是僅此而已。

然而事實證明。中國人比他們想象的要強大的多。這對鶴田來說,不啻是一個巨大的嘲諷。

以技術先進為傲的尼康,竟然會屢屢失敗在一個小小的中國企業面前!這tm的不科學啊!

鶴田的臉色隨著他看完整個授權專利證書之後,就黑的好像一塊鍋底的黑炭了。任誰在看到自家花費巨資研發出來的技術。轉眼就被人給淘汰掉了,心裏肯定都會恨不得把對方給咬死。

可惜,鶴田註定是不敢咬死人的。

步進投影技術不僅能擺脫對防水光刻膠的依賴。更重要的是只要稍作優化,立刻就又能把光刻機制程技術向前推進一個時代……

你們要不要這麽逆天?!

鶴田很想這麽吶喊一聲。如果讓泛翰集團這麽肆無忌憚的發展下去,說不定連摩爾定律都要被打破了。

從0.35微米工藝都沒普及的程度。直接跳到0.18微米,可以想象這會在市場上掀起怎樣的腥風血雨。

鶴田牙縫裏再敢蹦個“不”字,尼康就要被管殺不管埋了。

“周桑……這個文件是真的?”鶴田張了張嘴,腦袋裏一團亂麻,只能問出這麽沒有營養的問題了。

他對重覆投影式曝光技術並不陌生,如果說沈浸式光刻技術是左道旁門,那投影式曝光就是名門正道!光刻機提升性能的主要方法,大多都是通過增加光學系統精度實現的——而重覆投影曝光技術,可以說是將這種思路延續到了極致!

“呵呵,是不是真的,尼康可以自己求證一下。”周碩無所謂的聳了聳肩,輕松的笑道。

鶴田背靠在椅子上,心知這種事情是不可能作假的。只要他一個電話過去,用不了半個小時查詢結果就能出來,耍這種花招毫無意義。

即使如此,他仍然吩咐手下讓人去查詢相關的專利情況。一紙證書能夠體現的東西有限,專利註冊的時候需要提供很多技術思路,說不定也會有所收獲。不過那都是以後的事情了,現在周碩表現的來的實力,卻不允許他再肆無忌憚的打壓下去。

“好吧,周桑。”鶴田呼出一口氣,這種勝利即將到手卻被人絕地翻盤的感覺,實在是太傷士氣了。他強打精神擡起頭來,看向周碩說道:“既然情況出現了變化,尼康可以重新考慮原來的要求。違約金、退股和遷移生產線這些問題,咱們都可以好好談一談……”

“談什麽?”周碩抱著胸,笑吟吟的問道。

“呃,談談你手裏的技術。”鶴田老臉一紅,這樣的轉變未免太過生硬了一些,不過這時候卻也顧不得了:“說實話為了實現利潤最大化,現在就公布投影步進式光刻技術並不是一個好主意。要我說大可當做儲備技術,等我們在沈浸式光刻機上面賺到滿意之後,再放出這項技術來。”

“怎麽,尼康現在不想把我掃地出門了?”周碩低頭摳著手指甲,心不在焉的問道。

“哈哈,尼康怎麽會有這種打算!”鶴田大笑了一聲,掩飾他臉上的尷尬,晃著撥浪鼓似的腦袋說道:“泛翰集團是尼康最重要的合作夥伴,我們絕不會做出這種……嗯,卸磨殺驢的事情。”

他自認為用了一個中國成語還是很值得高興的事情,自得的笑著笑著卻再也笑不下去了,因為對面的周碩臉上始終都是冷冰冰的一片。

“鶴田桑敢做不敢認,這就太沒有男子漢氣概了。”周碩淡淡的說道:“既然尼康不想收購我手裏的股份了,那咱們就談談你們手裏那51%的股份吧。”

“納尼?”鶴田坐直了身體,眼光猛的正經了起來:“周桑這話是什麽意思,51%已經是尼康持股的底線了,這個條件是不容討論的問題!”

“這麽說吧——”周碩輕輕的吹了吹用指甲刀磨好的指甲,漸漸收斂起笑臉道:“破產和出售光刻機子公司,尼康選擇哪個?”

“周桑這話是什麽意思?”鶴田的臉上難得出現了一絲慌亂,強笑道:“你知不知道尼康是什麽公司,豈是能說破產就破產的?”

周碩哦了一聲,挑了挑眉說道:“那是我說錯話了,尼康每月五個億的違約金都能支付的起?”

“五個億?”鶴田嚇了一跳,驚恐的看著周碩,矢口否認道:“什麽五個億,我們尼康哪裏需要支付五個億的違約金?”

鶴田怎麽會不知道周碩說的是什麽,正是因為他知道,所以才心中驚恐萬分。尼康和intel簽署的合約不說是絕對機密,但也不是誰想知道都能知道的。雖然對這次合同提出了這麽高的違約金感到奇怪,但因為徹底掌握了光刻機市場,尼康並沒有太過在意。

一個月五億美元的違約金確實是高,但intel也要有這個膽量來收。

在阿斯麥已經推出競爭的今天,整個光刻機高端市場都落入了尼康的手裏,尼康光刻機就是皇帝的女兒——不愁嫁。在這種合作關系下,合同就是一張紙,intel又怎麽敢真的去收尼康的違約金?

就好像移動吞了用戶的月剩餘流量,絕大多數移動網絡用戶都不會說這不合理,即使不合理也要有這個本錢去和壟斷資本談判啊!

intel如今是求著尼康供貨,而不是尼康求著intel。這五個億美元的違約金好拿不好用,除非intel以後再也不升級光刻機工藝水平,否則怎麽敢這麽得罪尼康?

“呵呵,看來鶴田桑真是貴人多忘事。”周碩不以為意的聳了聳肩,露出一口潔白的牙齒笑道:“您可以想想看,如果阿斯麥得到了重覆投影曝光技術,intel是否還會這樣有耐心的等待下去?”

周碩這話說完,突然對面噗通一聲。鶴田在眾目睽睽之下,竟然從凳子上滑了下去!

三百九十七章 網吧

和尼康的談判終究沒有再進行下去,鶴田的暈倒成為了中場休息的休止符。日本團隊以沒有決策人為由,申請將談判延後,周碩則爽快的大方同意了。

對於上演了帽子戲法的泛翰集團來說,接下來已經是垃圾時間了。尼康決策的時間拖得越久,最終可能需要支付給intel的違約金就越高。

如果不想最後落得個破產的結果,現在擺在尼康面前的就只有一個選擇,那就是斷尾求生。

在周碩私心裏想來,最好能拖上三五個月。那樣尼康幹脆申請破產保護,大家高高興興把屍體一分,回家過年多省心?

當然,尼康不可能會做出這樣的選擇,正所謂再糟糕的行動也比沒有行動好,在這個時間點上實在是再正確不過。

從周碩拿出重覆投影曝光技術之後,尼康用來做出決策的每一秒鐘,都可以說是用金子鑄就的。

“哎?周校長?”

周碩吞下嘴裏的餛飩,擡起頭來。眼前的人是個十多歲、正值青春的小女孩,她留著一頭靚麗的短發,穿著二高中的校服,滿臉驚喜的站在早餐攤前面。

“你是?”周碩楞了一下,腦袋裏對這個女生似乎沒有什麽印象,有些含糊的問道。

“您不認識我,我叫李蕓。”李蕓俏生生的站在那裏,一股青春的氣息就迎面撲來。

“李蕓?”周碩下意識的晃了晃腦袋,對這個名字實在是想不出什麽,疑惑的問道:“你是我二高中時候教的學生?”

“不是啦!”李蕓咯咯笑了一下。搖著頭說道:“我是原來一職高計算機班的學生,去年畢業了。目前在二高中補習。準備參加今年高考。”

“哦,有時間陪我聊聊天不?”周碩恍然大悟。招了招手問道:“你怎麽沒工作?去年畢業的第一期計算機班學生,工作應該很好找吧?”

“其實我也工作了一段時間。”李蕓有些靦腆的坐在了他的對面,說話倒是沒有多少拘謹:“不過做了兩個月,我覺得學到的東西還是太少。後來泛翰學院成立,我就想去考個大學試試。現在和幾個比較好的同學,一起在二高中回爐班進行補習呢。”

“不錯!”周碩欣慰的點著頭,笑道:“你能有這份遠見,以後的成就肯定不會小了!”

周碩邊吃早點,邊和李蕓聊了兩句話。她似乎是在等著什麽人。眼神總是在四處巡視著。過不多一會兒,她果然站起來擺手喊道。

“小昕,在這!”李蕓大喊了一聲,跳起腳來揮舞著手臂和對面打著招呼。

一群十多個穿著二高中校服的女生,從遠處連蹦帶跳、嘰嘰喳喳的跑了過來。周碩看的眼熟,這裏既有一職高畢業的回爐班學生,也有二高中的應屆生,看情況應該都是計算機興趣小組的學生聚在了一起集體行動。

李蕓拉著一個綁著雙馬尾的微胖女孩,獻寶似的喊道:“小欣。你看這是誰?”

“啊!”被叫做小昕的女孩驚訝的叫了一聲,局促的不知道手放在哪裏是好,害羞的叫道:“周校長好!我叫李奕昕,是原來一職高畢業的學生。”

“你好!”周碩被一群姑娘圍住。早餐也吃的差不多了。他用桌子上的手紙擦了擦嘴,好奇的問道:“眼看要高考了,你們這是要去哪?”

他話音未落。人群裏就傳來一個驚喜的聲音,興奮的喊道。

“周老師!”

“何悠悠!”

周碩呆楞了一下。沒想到竟然在這裏看到了她。兩人發生過的一幕幕在眼前劃過,不由得心底升起了一些異樣的感覺。

“我們聽說火車站那邊開了一家可以上網的網吧。這不是考前放松,準備去看個新鮮。”何悠悠顯然很高興能夠意外的遇到周碩,興高采烈的說道:“我可聽說那個網吧是泛翰集團開的,周老師要不你帶我們去吧?”

“哦,好啊!”周碩心裏松了一口氣,一年多不見,也許何悠悠對他的感情已經抹平成普通的師生之情了吧。這麽想著,他也就沒有什麽尷尬的感覺了。

為了給泛翰廣場積累經驗,泛翰網絡公司在市中心找了塊繁華地段,專門開設了一間網吧。當然絕大多數人並不知道網吧是做什麽用的,但這些一職高出去的學生卻不可能不清楚。

聽到周碩應允,周圍頓時響起一片歡呼聲。別看繡城懂得上網的人少,但架不住只有一家網吧。偏偏在繡城的外國人又非常喜歡上網,這網絡就在不知不覺中流行了起來。

這家名為泛翰時空的網吧,坐落在火車站旁新建的網絡大廈裏。穿過一樓的大廳,坐電梯上到大廈的12層,打開門之後就是泛翰時空的吧臺。

這裏與其說是網吧,其實不如說是類似咖啡廳一樣的地方。和原來歷史上早期簡陋的黑網吧完全不同,泛翰時空的設施條件放到二十年後也絕對是頂級水平的。

簡約的黑色吧臺不僅提供上網登記服務,還負責出售各種飲品和小食。咖啡、茶、果汁和碳酸飲料,凡是繡城市面上能夠買到的飲料這裏都能提供。除此之外還有各種堅果零食、爆米花和冰淇淋之類在1996年算得上新鮮的玩意,即使不懂上網的人也願意來這裏買些包裝精美的小吃。

然而最吸引人的卻不是這些吧臺提供的食物,而是吧臺旁邊一道紅色的門內,排起長長隊列的盡頭。那是繡城第一家肯打雞店,雖然不提供座位,只能算是網吧的附屬店鋪,但實際的人氣卻似乎比網吧還要好得多。

站在辦理上網手續的吧臺前面,看著女孩子們一個個神思不屬的往裏面眺望,周碩無奈的笑道:“好啦,你們想吃什麽,我來請客好了。”

肯打雞雖然是美國的平民餐,但在九十年代的中國卻是“權貴”才吃的起的食物。一個漢堡十五塊錢,這在二十年後或許不算什麽,但在平均工資只有四五百塊的繡城,卻是有些奢侈的一件事情了。

“我想要奧爾良烤雞腿堡!”

“我要聖代!”

“吮指原味雞!”

堂堂泛翰集團的老總請客,大家當然不用客氣,盡情的點了一番自己想吃的食物。周碩擡頭看向一旁,問道:“何悠悠,你想吃什麽?”

何悠悠家裏條件算好的,卻也是第一次吃肯打雞。她想了想,在菜單上卻只點了一道最便宜的薯條。

泛翰時空的內部裝修是按照咖啡館來布置的,在早年的網吧裏能來上網的一般知識水平比較高,外國人的比例也比較大,並不用擔心他們花不起錢。一小時十塊錢的費用,對他們來說並不是什麽大的負擔。

整個網吧被分成了三個區域,分別是普通區、vip區和包房區,提供的條件和後世的高級網吧大致略同。

“悠悠,我記得你的學習成績不錯吧?”這一群女生在vip區占了一塊地方,紛紛新奇的打開電腦,準備嘗試一下如何上網。

從一職高出去的學生,還有一些原來計算機興趣小組的同學,她們倒是不用擔心不會使用電腦。

何悠悠驕傲的點了點頭,大眼睛忽閃忽閃的看著周碩:“上次模擬考,我在學校排進了前十!”

“不錯啊!”周碩歪過頭看著她,欣慰的笑道:“怎麽,想考哪所大學?我在帝都也有點關系,要不要我幫你通通關系?”

“我想考泛翰學院。”何悠悠操作著電腦,輕描淡寫的說道。

然而這話卻嚇了周碩一大跳,不是他對泛翰學院沒有信心,不過學院畢竟還只是一個三本,何悠悠的成績考三本大學就太可惜了。

何悠悠輕車熟路的將番茄醬擠在薯條上,然後一口一口的吃下去。最後伸出水潤潤的小舌頭在嘴唇上舔了舔,將粘在上面的番茄醬一滴不剩的卷了進去。

周碩略微失神,隨即驚訝的說道:“你的成績要去帝都都沒問題,何必在繡城上個三本?”

“我……我想留在繡城啊!”何悠悠的貝齒咬了咬嘴唇,對周碩不理解自己的心情有些難過。

“哦,這樣。”周碩再怎麽遲鈍,也發現自己問了不該問的問題。呵呵笑著轉移了話題:“怎麽樣,我立刻這段時間你們手上的技術落下沒有?計算機知識如果不能隨時更新,很快就會落伍的。”

何悠悠聽他說道這個事情,不由的有些叫屈道:“周老師你也是,自打走了之後二高中的計算機課算是徹底廢了。那個新來的老師,根本什麽也不懂,上課甚至還要我們教他一些常識性的知識……”

何悠悠滔滔不絕的講述著新老師的各種缺點和問題,偶爾還會跟身邊的閨蜜咬咬耳朵,一上午的時間很快的就過去了。

周碩也是許久沒有上過網了,網吧裏的線路是從網絡中心拉過來的專線,在這個年代算得上是飛速了。瀏覽了幾個國外網站之後,他不由得開始沈思起來。

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