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第512章 研究經費

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對於光刻膠的發展,目前可以分為四個階段,KTFR光刻膠、g線/i線光刻膠、KrF光刻膠以及ArF光刻膠。

ArF光刻膠是世界最新的光刻膠技術,它繼承了KrF光刻膠的基礎,也屬於化學放大光刻膠。

半導體工藝開發聯IMEC正式將ArF光刻膠用作兩千年下一代半導體0.13μm工藝的抗蝕劑。

只是相對於世界前沿的光刻膠技術,華夏的光刻膠發展簡直稱得上可憐。

華夏光刻膠的研究始於六七十年代,六七年的時候,華夏KPR型負性光刻膠就已經投產。

七零年,103B型、106型兩種負膠投產,環化橡膠系負膠BN-302、BN-303也相繼開發成功。

當時華夏的技術雖然比不上美國,但與日本研究時間相同,技術水平也相差無幾。

只是之後因為種種原因,差距越來越大。

現在產品已經發展到ArF光刻膠階段,而國內還在KTFR光刻膠階段,後續研究一直停滯,相差三代。

這不僅僅是因為資金不夠的原因,更大程度是因為電子行業與軍事緊密相關,國外技術封鎖,很難交流。

現在電子工業發展迅速,而華夏芯片的劣勢也越來越明顯,就靠著一些企業自己研究發展,進展緩慢,所以,政府想要重啟光刻膠的研究。

江小溪聽到這裏,作為重生的人自然知道光刻機,一直到2020年,華夏的高端芯片依舊受制於人,而半導體工業中,下游設計已經迎頭趕上,處於世界第一梯隊,而上游設備和材料領域卻依舊落後。

以光刻膠為例,國外g線/i線光刻膠七十年代投產,KrF光刻膠八十年代投產,現在ArF光刻膠兩千年投產。

可是華夏呢,2020年的時候,光刻膠企業僅有北京科華微電子的KrF光刻膠可以量產供應,與國外有著將近四十年的差距。

好在現在研發雖然不是最優的時候,但是也不晚,兩千年只是一個開始,現在著手還來得及。

方主任把大概情況介紹完了,看到江小溪一直在沈思,他沒有立刻詢問江小溪,而是喝起茶來,讓江小溪好好想一想。

路院長看著兩個人不說話了,他和費院士其實是有些著急的,因為光刻膠這個項目已經封塵很多年了,就算有研究也因為經費問題很難繼續,而現在時間緊迫,要是再不重啟,那真的就晚了。

路院長等了一陣子,看著江小溪還在發呆,又轉頭看看方主任依舊在喝茶,喝喝喝,都喝了好幾杯了。

於是,咳嗽了一聲對江小溪說道:“江總,光刻膠的項目真的刻不容緩,雖然確實費用高,攻克難,但是你放心,我們所肯定全力研究,一定在十年之內給你拿出成果!”

江小溪聽到他說話,擡起頭來看著路院長。

路院長看江小溪沒說話,頓了一下,改口說道:“八年、八年也長那就五年、五年我們肯定能研究到g線/i線光刻膠,到時候就能變現了。江總,你可能不太了解,光刻膠雖然投入大,但我保證,這項技術的收益也大。”

這個時候方主任也說道:“確實,投資和收益都是成正比的,只要有成果,江總放心,收益肯定不小。”

江小溪點點頭問道:“五年肯定能出成果嗎?”

路院長咬咬牙說道:“肯定能,我保證!”

江小溪問道:“現在咱們跟人家差距三代,就算是g線/i線光刻膠也只是人家七八十年代的產物,那麽我們研究到ArF光刻膠,需要多長時間?”

路院長頓了一下,嘆了一口氣說道:“江總,不瞞你說,要研究到ArF光刻膠投產我心裏也沒數,這技術已經不是我們研究所說研究出來就能出結果的,這涉及到相關技術設備的,國產的設備達不到,對於我們研究影響很大。”

江小溪想了想說道:“光刻膠確實很重要,我可以讚助。”

聽到這個回答,想要很多說服方案的方主任和路院長都楞住了,不可置信江小溪這麽輕松就答應了。

誰都知道路院長五年的保證很是勉強,連他自己都抱著先研究五年是五年的想法說的。

江小溪沒等他們高興繼續說道:“方主任,雖然我答應投資,但是我有條件。”

方主任剛要露出的笑臉臉色一正,嚴肅地說道:“請說。”

江小溪說道:“我可以投資發展光刻膠,但是你也聽到了,現在光刻膠的研究技術有一部分是受制於相關技術設備的發展。你要研究技術,不能不把設備整好吧。要養羊,不能不給草原讓吃土吧。我要求被套的技術設備研究也要跟上。”

方主任聽到這個,一臉難色地說道:“江總,不是我不想給你配齊,主要是咱們國家現在發展迅速,哪哪都要錢,這個技術設備疊代也不比光刻膠研究的費用少啊,我只能說盡量。”

江小溪轉頭問路院長說道:“那咱們研究所有沒有門路購買國外的先進設備?”

聽到這個路院長猶豫了一下說道:“有倒是有,就是費用太高了。”

方主任趕緊說道:“我這邊也能出力,講講價。”

江小溪點頭說道:“關於研發方面我是什麽都不懂,就要靠路院長和費院士了。不過,我有一點要說明,要用最先進的設備盡快開發出成果,設備和材料的錢不能省。”

路院長使勁點點頭。

方主任對路院長說道:“那這份預算就不夠了,老路你在把預算重新算一下。”

還沒等路院長說話,江小溪就問道:“不用太仔細,路院長你就說個大概的數。”

路院長有些不安地搓了搓手說道:“大概、大概八千萬吧。”

江小溪問道:“已經包含設備了?”

路院長說道:“g線/i線光刻膠是老技術,研究設備的要求不是很高。”

江小溪想了想說道:“這樣,今年我投資三個億,要買最好的設備,盡快把g線/i線光刻膠技術研究出來,最好KrF光刻膠以及ArF光刻膠都能用。”

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