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在林翰民的理論指導下,熱場設計越來越精準,磁場輔助技術應用得愈發成熟,摻雜技術——通過摻入磷、硼等元素制備N型或P型矽——也取得了突破,能夠精確控制矽片的電阻率和型號。
研究所制備的高純矽錠和矽片,開始小批量地送往國內幾家主要的半導體器件廠進行試用。
反饋最初是謹慎的,但隨著一批批質量穩定、參數達標的矽片得到驗證,訂單開始慢慢增加。雖然產量還很小,成本也居高不下,但它就像星星之火,為國內蹣跚學步的電子工業註入了最原始的動能。
就在研究所各項工作漸入佳境之時,外面的風卻越刮越緊。
1969年,動蕩的浪潮不可避免地波及到了相對封閉的科研院所。
一天下午,研究所裏突然闖進了一群不速之客。
他們都很年輕,神情激動,聲稱要“破除迷信,打倒反動學術權威”,目標直指林翰民!
“林翰民!出來!你這個留過洋的臭老九!崇洋媚外!散布唯心主義科研路線!必須接受批判!”為首的一個年輕人大聲喊道,試圖沖擊實驗室。
林翰民正在辦公室裏計算一組數據,聞聲臉色瞬間一白。他一生耿直,醉心學術,何曾見過這等陣勢。
所裏的年輕研究員們大多楞住了,有些不知所措。
何沁試圖上前理論,卻被粗暴地推開。
就在混亂之際,陸向真聞訊從隔壁的凈化間沖了出來。她甚至沒來得及換下實驗服,臉上還戴著口罩,只露出一雙銳利如寒星的眼睛。
“住手!”她的聲音不高,卻帶著一種不容置疑的威嚴,瞬間鎮住了場面,“這裏是國家重點科研單位,正在進行絕密級研究任務!誰給你們權力在這裏撒野?!”
那為首的青年被她的氣勢懾了一下,但隨即梗著脖子道:“我們是來革命!來揪出隱藏的階級敵人!林翰民歷史有問題,思想反動,阻礙科研發展!”
“放屁!”向真厲聲打斷他,一步上前,目光如刀鋒般掃過那群人,“林翰民教授是研究所請來的專家,是國家需要的寶貴人才!他的工作,對國防建設、對國家未來至關重要!你們懂什麽?憑什麽在這裏指手畫腳?!”
“你……你包庇他!你和他是一路的!”那青年有些氣急敗壞。
“我包庇?”向真冷笑一聲,猛地摘下口罩,露出清瘦卻堅毅的面容,“我是這個所的所長!這裏的一切,我說了算!我手下的人,輪不到外人來動!有什麽問題,讓保衛部的人來,讓你們上級拿正式文件來!現在,立刻給我出去!否則,別怪我以破壞國家科研項目為由,通知警衛連!”
她的目光掃過那些略顯遲疑的闖入者,最後定格在為首青年臉上,一字一句地道:
“我、看、誰、敢、作、亂!”
那一刻,她仿佛不再是那個埋首實驗室的科學家,而是當年在西北基地、在湖北農機廠,那個敢於掄起扳手砸倒歹徒、駕駛拖拉機與洪水猛獸搏鬥的戰士。
那股經歷過生死考驗、守護過國之重器的凜然氣勢,絕非幾個被煽動的青年所能抵擋。
現場一片寂靜。
闖入者們被她的氣勢徹底壓倒,面面相覷,進退維谷。
陸向真的舉動仿佛是一個信號,所裏其他年輕研究人員也紛紛反應過來,自發地圍攏過來,站在她身後,雖然沒有說話,但沈默的姿態卻表達了無聲的支持。
王世鈞帶著幾個工人師傅也聞訊趕來,手裏還拿著扳手等工具,虎視眈眈地站在實驗室門口。
形勢瞬間逆轉。
那為首的青年見勢不妙,色厲內荏地撂下幾句“你們等著”、“走著瞧”的狠話,帶著人灰溜溜地走了。
危機暫時解除,實驗室裏卻彌漫著一種壓抑的後怕和不安。
向真深吸一口氣,走進林翰民的辦公室。老教授坐在椅子上,臉色依舊不好看,手指微微顫抖。
“林教授,你沒事吧?”向真關切地問。
林翰民搖搖頭,苦笑道:“沒事……給所裏添麻煩了。我這把老骨頭……”
“別這麽說。”向真打斷他,語氣堅決,“你是我們所的頂梁柱,沒誰都不能沒你。林教授,你現在就托一個可靠的人去把你家裏重要的東西、需要的生活用品帶到研究所來,等以後局勢穩定了再回去,平時不要出研究所。以後這種事情不會再發生,我保證。”
她說到做到。
事後,她立刻親自去找了上級主管部門和軍管會負責人,態度強硬地陳述利害關系,強調半導體材料研究的極端重要性和保密性,堅決反對任何形式的外部幹擾,並以個人政治生命擔保林翰民和研究所全體人員的清白與忠誠。
同時,她也在所內加強了安全管理和思想教育,要求大家專心業務,不參與、不議論外界是非。王世鈞更是加強了門禁,閑雜人等一律不得入內。
在陸向真強有力的庇護下,研究所如同一片在驚濤駭浪中艱難維持穩定的孤島,得以繼續專註於科研工作。林翰民深受感動,更加廢寢忘食地投入工作,將他畢生所學傾囊相授。
只是,他的性格依舊固執,甚至在技術問題上更加“較真”。
在一次關於新型熱場設計方案的技術討論會上,林翰民和陸向真發生了激烈的爭執。
林翰民堅持認為,應該采用他基於經典熱傳導模型計算出的、更為保守和對稱的熱場設計,認為這樣更穩妥,風險更小。
而陸向真則在大量實驗數據的基礎上,提出了一種非對稱的激進設計思路,認為這樣可以更好地抑制熔體對流,獲得更均勻的晶格結構。
“陸所長!你的想法太大膽了!缺乏理論支撐!熱場不對稱會導致應力集中,很容易長晶失敗甚至炸膛!這個風險我們不能冒!”林翰民激動得臉色發紅,據理力爭。
“林教授,理論需要實踐檢驗和修正!我們之前的經驗已經表明,完全對稱的熱場並不能解決所有問題!熔體內的對流是三維的、覆雜的!我認為非對稱熱場恰恰可以產生一個反向的抑制力!我們必須嘗試!”陸向真毫不退讓,指著模擬數據和圖解。
“嘗試?拿一爐價值連城的高純矽料去嘗試?萬一失敗了,這個責任誰負?工期耽誤了怎麽辦?”林翰民拍著桌子。
“科研本身就是冒險!不敢試錯,就永遠無法突破瓶頸!責任我來負!”向真語氣斬釘截鐵。
會議室裏鴉雀無聲,何沁、王世鈞等骨幹面面相覷,不敢插話。兩位技術權威的爭論如此激烈,實屬罕見。
“你……你這是經驗主義!是蠻幹!”林翰民氣得胡子都在抖。
“林教授!我是基於數據和實驗觀察做出的判斷!不是瞎幹!”陸向真也提高了音量,“如果我們一切都墨守成規,跟在別人後面亦步亦趨,那還要我們這個研究所幹什麽?!”
爭論持續了整整一個下午,誰也無法說服誰。
最終,向真基於所長的職責和項目進度的壓力,強行拍板,決定按她的方案進行下一次試驗。
林翰民臉色鐵青,摔門而出,一連幾天都不和陸向真說話,只是埋頭做自己的計算,仿佛要用事實來證明向真的錯誤。
陸向真心裏也不好受,她尊重林翰民,知道他的固執源於對科學的嚴謹和敬畏。
但她更相信自己的判斷,那是無數次成功與失敗淬煉出的洞察力。
試驗那天,氣氛格外凝重。所有人都知道這場試驗背後的爭論。
林翰民也來了,他遠遠地站在角落,面無表情地看著。
爐火燃起,新的非對稱熱場開始工作。儀表盤上的數據曲線呈現出與以往截然不同的走勢。所有人的心都提到了嗓子眼。
出乎意料的是,熔區異常穩定,甚至比以往任何一次都要平靜。引晶、放肩過程異常順利。當矽棒進入等徑生長階段時,其表面的光澤度和均勻度肉眼可見地優於以往。
成功了!
當最終的檢測數據出來,顯示晶格完整性、電阻率均勻性、少數載流子壽命等關鍵指標均大幅提升,甚至超越了預期目標時,整個實驗室沸騰了!
王世鈞激動地狠狠一拍大腿:“成了!所長!您的法子真神了!”
何沁也露出了如釋重負的笑容。
向真長長地舒了一口氣。
只見老教授獨自走到主控電腦前,仔細地看著拉晶過程記錄下來的溫度、功率、轉速等海量數據曲線,又拿起計算尺和草稿紙,飛快地演算著什麽。
良久,他放下筆,緩緩地轉過身,走向向真。
實驗室裏安靜下來,大家都看著他們。
林翰民推了推眼鏡,臉上沒有了之前的怒氣,取而代之的是一種覆雜的、混合著困惑、佩服和一絲尷尬的神情。
“陸所長,”他開口,聲音有些幹澀,“我……我剛才重新計算了一下。在引入你設計的非對稱熱場後,熔體內的溫度梯度和流場分布確實發生了改變,產生了一個……一個我之前模型中沒有考慮到的次級環流,這個環流恰好抑制了主對流的振蕩……你的設想,從理論上是成立的,是我之前的模型過於簡化了。”
他頓了頓,向著向真,微微欠了欠身:“對不起,是我固執己見了。你的決策是正確的。”
陸向真連忙扶住他:“林教授,別這麽說!沒有你之前紮實的理論基礎和嚴謹的作風,我們也不可能有今天的積累。我們的目標都是一樣的,都是為了把事兒做成,做好。你說是吧。”
一場風波,最終以技術的突破和彼此的更加敬重而告終。
這件事也讓所裏的年輕人深刻體會到,科學探索既需要林教授那樣的嚴謹與堅守,也需要陸所長那樣的魄力與創新。
時光飛逝,進入七十年代。研究所的工作一步步走向深入。
高純多晶矽實現了小批量穩定生產,純度向著“9個9”乃至更高邁進;單晶矽的直徑不斷增大,質量穩步提升;林翰民帶領的理論小組對矽中缺陷成因、氧化層質量、界面態等基礎問題的研究取得了系列進展,撰寫的大量內部研究報告成為指導工藝改進的寶貴財富;
在向真的堅持下,一個小型的光刻膠研究小組也悄然成立。
雖然條件極其簡陋,只能從最基礎的環化橡膠-雙疊氮系負性光刻膠做起,但畢竟邁出了布局光刻技術的第一步。
人才培養方面,更是碩果累累。
何沁已成為分管工藝和質量控制的副所長,嚴謹細致,作風硬朗;王世鈞是當之無愧的設備與中試負責人,哪裏有問題,哪裏就有他;當年招進來的那批年輕大學生,如今都已成長為各研究室、各工藝環節的骨幹力量。
最讓向真欣慰的是她在湖北遇到的“小天使”江曉的成長。
1972年,江曉以優異成績從華中工學院機械系畢業,1975年又拿到了北大材料系的碩士學位,隨後婉拒了多家單位的邀請,毅然回到了培育她的新材料研究所。
初到所裏時,面對偶像向真和諸多前輩,她依然有些羞澀和拘謹,大部分時間都默默埋頭工作,刻苦鉆研。但她紮實的理論功底、出色的動手能力和在關鍵時刻表現出來的勇氣與忠誠,很快就贏得了大家的認可。
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在林翰民的理論指導下,熱場設計越來越精準,磁場輔助技術應用得愈發成熟,摻雜技術——通過摻入磷、硼等元素制備N型或P型矽——也取得了突破,能夠精確控制矽片的電阻率和型號。
研究所制備的高純矽錠和矽片,開始小批量地送往國內幾家主要的半導體器件廠進行試用。
反饋最初是謹慎的,但隨著一批批質量穩定、參數達標的矽片得到驗證,訂單開始慢慢增加。雖然產量還很小,成本也居高不下,但它就像星星之火,為國內蹣跚學步的電子工業註入了最原始的動能。
就在研究所各項工作漸入佳境之時,外面的風卻越刮越緊。
1969年,動蕩的浪潮不可避免地波及到了相對封閉的科研院所。
一天下午,研究所裏突然闖進了一群不速之客。
他們都很年輕,神情激動,聲稱要“破除迷信,打倒反動學術權威”,目標直指林翰民!
“林翰民!出來!你這個留過洋的臭老九!崇洋媚外!散布唯心主義科研路線!必須接受批判!”為首的一個年輕人大聲喊道,試圖沖擊實驗室。
林翰民正在辦公室裏計算一組數據,聞聲臉色瞬間一白。他一生耿直,醉心學術,何曾見過這等陣勢。
所裏的年輕研究員們大多楞住了,有些不知所措。
何沁試圖上前理論,卻被粗暴地推開。
就在混亂之際,陸向真聞訊從隔壁的凈化間沖了出來。她甚至沒來得及換下實驗服,臉上還戴著口罩,只露出一雙銳利如寒星的眼睛。
“住手!”她的聲音不高,卻帶著一種不容置疑的威嚴,瞬間鎮住了場面,“這裏是國家重點科研單位,正在進行絕密級研究任務!誰給你們權力在這裏撒野?!”
那為首的青年被她的氣勢懾了一下,但隨即梗著脖子道:“我們是來革命!來揪出隱藏的階級敵人!林翰民歷史有問題,思想反動,阻礙科研發展!”
“放屁!”向真厲聲打斷他,一步上前,目光如刀鋒般掃過那群人,“林翰民教授是研究所請來的專家,是國家需要的寶貴人才!他的工作,對國防建設、對國家未來至關重要!你們懂什麽?憑什麽在這裏指手畫腳?!”
“你……你包庇他!你和他是一路的!”那青年有些氣急敗壞。
“我包庇?”向真冷笑一聲,猛地摘下口罩,露出清瘦卻堅毅的面容,“我是這個所的所長!這裏的一切,我說了算!我手下的人,輪不到外人來動!有什麽問題,讓保衛部的人來,讓你們上級拿正式文件來!現在,立刻給我出去!否則,別怪我以破壞國家科研項目為由,通知警衛連!”
她的目光掃過那些略顯遲疑的闖入者,最後定格在為首青年臉上,一字一句地道:
“我、看、誰、敢、作、亂!”
那一刻,她仿佛不再是那個埋首實驗室的科學家,而是當年在西北基地、在湖北農機廠,那個敢於掄起扳手砸倒歹徒、駕駛拖拉機與洪水猛獸搏鬥的戰士。
那股經歷過生死考驗、守護過國之重器的凜然氣勢,絕非幾個被煽動的青年所能抵擋。
現場一片寂靜。
闖入者們被她的氣勢徹底壓倒,面面相覷,進退維谷。
陸向真的舉動仿佛是一個信號,所裏其他年輕研究人員也紛紛反應過來,自發地圍攏過來,站在她身後,雖然沒有說話,但沈默的姿態卻表達了無聲的支持。
王世鈞帶著幾個工人師傅也聞訊趕來,手裏還拿著扳手等工具,虎視眈眈地站在實驗室門口。
形勢瞬間逆轉。
那為首的青年見勢不妙,色厲內荏地撂下幾句“你們等著”、“走著瞧”的狠話,帶著人灰溜溜地走了。
危機暫時解除,實驗室裏卻彌漫著一種壓抑的後怕和不安。
向真深吸一口氣,走進林翰民的辦公室。老教授坐在椅子上,臉色依舊不好看,手指微微顫抖。
“林教授,你沒事吧?”向真關切地問。
林翰民搖搖頭,苦笑道:“沒事……給所裏添麻煩了。我這把老骨頭……”
“別這麽說。”向真打斷他,語氣堅決,“你是我們所的頂梁柱,沒誰都不能沒你。林教授,你現在就托一個可靠的人去把你家裏重要的東西、需要的生活用品帶到研究所來,等以後局勢穩定了再回去,平時不要出研究所。以後這種事情不會再發生,我保證。”
她說到做到。
事後,她立刻親自去找了上級主管部門和軍管會負責人,態度強硬地陳述利害關系,強調半導體材料研究的極端重要性和保密性,堅決反對任何形式的外部幹擾,並以個人政治生命擔保林翰民和研究所全體人員的清白與忠誠。
同時,她也在所內加強了安全管理和思想教育,要求大家專心業務,不參與、不議論外界是非。王世鈞更是加強了門禁,閑雜人等一律不得入內。
在陸向真強有力的庇護下,研究所如同一片在驚濤駭浪中艱難維持穩定的孤島,得以繼續專註於科研工作。林翰民深受感動,更加廢寢忘食地投入工作,將他畢生所學傾囊相授。
只是,他的性格依舊固執,甚至在技術問題上更加“較真”。
在一次關於新型熱場設計方案的技術討論會上,林翰民和陸向真發生了激烈的爭執。
林翰民堅持認為,應該采用他基於經典熱傳導模型計算出的、更為保守和對稱的熱場設計,認為這樣更穩妥,風險更小。
而陸向真則在大量實驗數據的基礎上,提出了一種非對稱的激進設計思路,認為這樣可以更好地抑制熔體對流,獲得更均勻的晶格結構。
“陸所長!你的想法太大膽了!缺乏理論支撐!熱場不對稱會導致應力集中,很容易長晶失敗甚至炸膛!這個風險我們不能冒!”林翰民激動得臉色發紅,據理力爭。
“林教授,理論需要實踐檢驗和修正!我們之前的經驗已經表明,完全對稱的熱場並不能解決所有問題!熔體內的對流是三維的、覆雜的!我認為非對稱熱場恰恰可以產生一個反向的抑制力!我們必須嘗試!”陸向真毫不退讓,指著模擬數據和圖解。
“嘗試?拿一爐價值連城的高純矽料去嘗試?萬一失敗了,這個責任誰負?工期耽誤了怎麽辦?”林翰民拍著桌子。
“科研本身就是冒險!不敢試錯,就永遠無法突破瓶頸!責任我來負!”向真語氣斬釘截鐵。
會議室裏鴉雀無聲,何沁、王世鈞等骨幹面面相覷,不敢插話。兩位技術權威的爭論如此激烈,實屬罕見。
“你……你這是經驗主義!是蠻幹!”林翰民氣得胡子都在抖。
“林教授!我是基於數據和實驗觀察做出的判斷!不是瞎幹!”陸向真也提高了音量,“如果我們一切都墨守成規,跟在別人後面亦步亦趨,那還要我們這個研究所幹什麽?!”
爭論持續了整整一個下午,誰也無法說服誰。
最終,向真基於所長的職責和項目進度的壓力,強行拍板,決定按她的方案進行下一次試驗。
林翰民臉色鐵青,摔門而出,一連幾天都不和陸向真說話,只是埋頭做自己的計算,仿佛要用事實來證明向真的錯誤。
陸向真心裏也不好受,她尊重林翰民,知道他的固執源於對科學的嚴謹和敬畏。
但她更相信自己的判斷,那是無數次成功與失敗淬煉出的洞察力。
試驗那天,氣氛格外凝重。所有人都知道這場試驗背後的爭論。
林翰民也來了,他遠遠地站在角落,面無表情地看著。
爐火燃起,新的非對稱熱場開始工作。儀表盤上的數據曲線呈現出與以往截然不同的走勢。所有人的心都提到了嗓子眼。
出乎意料的是,熔區異常穩定,甚至比以往任何一次都要平靜。引晶、放肩過程異常順利。當矽棒進入等徑生長階段時,其表面的光澤度和均勻度肉眼可見地優於以往。
成功了!
當最終的檢測數據出來,顯示晶格完整性、電阻率均勻性、少數載流子壽命等關鍵指標均大幅提升,甚至超越了預期目標時,整個實驗室沸騰了!
王世鈞激動地狠狠一拍大腿:“成了!所長!您的法子真神了!”
何沁也露出了如釋重負的笑容。
向真長長地舒了一口氣。
只見老教授獨自走到主控電腦前,仔細地看著拉晶過程記錄下來的溫度、功率、轉速等海量數據曲線,又拿起計算尺和草稿紙,飛快地演算著什麽。
良久,他放下筆,緩緩地轉過身,走向向真。
實驗室裏安靜下來,大家都看著他們。
林翰民推了推眼鏡,臉上沒有了之前的怒氣,取而代之的是一種覆雜的、混合著困惑、佩服和一絲尷尬的神情。
“陸所長,”他開口,聲音有些幹澀,“我……我剛才重新計算了一下。在引入你設計的非對稱熱場後,熔體內的溫度梯度和流場分布確實發生了改變,產生了一個……一個我之前模型中沒有考慮到的次級環流,這個環流恰好抑制了主對流的振蕩……你的設想,從理論上是成立的,是我之前的模型過於簡化了。”
他頓了頓,向著向真,微微欠了欠身:“對不起,是我固執己見了。你的決策是正確的。”
陸向真連忙扶住他:“林教授,別這麽說!沒有你之前紮實的理論基礎和嚴謹的作風,我們也不可能有今天的積累。我們的目標都是一樣的,都是為了把事兒做成,做好。你說是吧。”
一場風波,最終以技術的突破和彼此的更加敬重而告終。
這件事也讓所裏的年輕人深刻體會到,科學探索既需要林教授那樣的嚴謹與堅守,也需要陸所長那樣的魄力與創新。
時光飛逝,進入七十年代。研究所的工作一步步走向深入。
高純多晶矽實現了小批量穩定生產,純度向著“9個9”乃至更高邁進;單晶矽的直徑不斷增大,質量穩步提升;林翰民帶領的理論小組對矽中缺陷成因、氧化層質量、界面態等基礎問題的研究取得了系列進展,撰寫的大量內部研究報告成為指導工藝改進的寶貴財富;
在向真的堅持下,一個小型的光刻膠研究小組也悄然成立。
雖然條件極其簡陋,只能從最基礎的環化橡膠-雙疊氮系負性光刻膠做起,但畢竟邁出了布局光刻技術的第一步。
人才培養方面,更是碩果累累。
何沁已成為分管工藝和質量控制的副所長,嚴謹細致,作風硬朗;王世鈞是當之無愧的設備與中試負責人,哪裏有問題,哪裏就有他;當年招進來的那批年輕大學生,如今都已成長為各研究室、各工藝環節的骨幹力量。
最讓向真欣慰的是她在湖北遇到的“小天使”江曉的成長。
1972年,江曉以優異成績從華中工學院機械系畢業,1975年又拿到了北大材料系的碩士學位,隨後婉拒了多家單位的邀請,毅然回到了培育她的新材料研究所。
初到所裏時,面對偶像向真和諸多前輩,她依然有些羞澀和拘謹,大部分時間都默默埋頭工作,刻苦鉆研。但她紮實的理論功底、出色的動手能力和在關鍵時刻表現出來的勇氣與忠誠,很快就贏得了大家的認可。
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