第64章 星曉[11]
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第64章 星曉[11]
藍河科技最基礎的部署戰略已走出第一步, 一條攻破高階國產光刻機技術的科技鏈已有了雛形，接下來的技術攻破才是重中之重的難點。
盛明安和沈問冰談完具體的細節以及一些ArF光刻膠技術難點的看法後，離開甬城, 回到津市，而沈問冰就ArF光刻膠及配套材料研發項目收集資料, 準備申請立項，估計通過幾率很高。
高端光刻膠及配套材料的研發和產業化本來就在國家02專項項目裏, 按前世軌跡, ArF光刻膠（193nm光刻膠）將在三年後由南大光電申請通過立項, 獲得國家科研基金資助, 於立項後的兩年內完成驗收。
現在盛明安介入, 也只是提前讓ArF光刻膠被研發出來, 研發團隊和專項所屬權仍然屬於原主。
盛明安完成初步戰略部署後, 馬不停蹄趕回藍河科技研發部準備光源系統的研發，幾乎沒有停下來喘口氣的機會。
不只是他, 整個藍河科技所有人都像陀螺似的忙得暈頭轉向。
系統好奇盛明安為什麽不自己獨立攻破光刻機所有核心技術？
他有前世的記憶, 他熟知光刻機幾十上百項核心技術, 足以輕而易舉的攻破，而不必像現在這樣全國四處尋找科研團隊，費盡口舌說服他們跟藍河科技合作。
如果盛明安一個人研發出光刻機, 所有專利都將屬於他。
專利帶來的財富和名譽源源不斷, 國內任何一家科技公司想為他生產制造光刻機的材料譬如晶圓、光刻膠或者雙工作臺，都得花錢從他手中買下生產這些材料的專利費用, 更別提之後完成的高階光刻機。
甚至他能夠直接畢業，學校為他開綠燈，說不定還會給他一個國家院士和名譽教授。
這真不是開玩笑的！
光刻機的地位就是如此重要！
而且只要盛明安攻破這些技術難題，再交由藍河科技研發部完善, 他們也不用跟著他這麽大費周章的為革芯的未來鋪路。
系統很好奇，於是這麽問出口。
盛明安正在設計覆雜的光源系統，聞言楞了下，回頭看了眼身後忙碌的團隊。
右手邊的助手是個戴眼鏡的年輕姑娘，註意到盛明安的目光便輕聲問：“老板，您想來杯黑咖啡嗎？”
姑娘剛走出學校的實驗室沒多久，還習慣喊團隊領導‘老板’。
盛明安：“倒點濃茶就行。”
姑娘起身，拿起他桌邊的杯子就去倒茶水了。
系統：【宿主，是我問你。】
盛明安揉著太陽穴，感覺草稿本的字有點花，不知道是太疲憊還是有近視的風險，他前世長期伏案寫算因此輕度近視。
‘嗯。’
系統催促：【宿主？】
盛明安思索片刻，在姑娘倒了濃茶過來時輕聲回謝謝，便在腦海裏回答系統：‘不是我的東西。’
就是很簡單的理由，那不是他的東西，就算前世學過的那些攻破技術難點的知識現在屬於他，可是被創造出來的技術不屬於他。
而光刻機固然重要，卻不到火燒眉頭的地步，不需要搶奪原該屬於他人的運道。
他說：‘為什麽問我這個問題？’
系統：【因為我不理解。】
盛明安：‘你不該比我更了解嗎？’
系統：【？】
盛明安：‘你沒有發現？黑科技程序給出的每一道關卡，看似是未來的黑科技，實則基礎建立在過去物理偉人的理論和發現，只不過程序將它們歸納起來激發了我的靈感。’
連續破解兩道關卡後，盛明安才看透黑科技程序的套路，無論是關卡還是所謂獎勵要麽只是告訴他一道答案本來就是必然的結果，要麽給了似是而非的所謂提醒，他再根據這些已有的提醒和前人的結論不斷深思、追尋和解鎖，才得出屬於他的成果。
盛明安不知道前世沒有他，除了光刻機之外，量子糾錯的算法、拍瓦級激光系統方案究竟會是誰解決。
他有些好奇，於是問出來。
系統：【……不知道。】
盛明安：‘？’
系統：【記錄被銷毀了。】
盛明安：‘記錄沒銷毀前，你也不知道？’
系統：【不記得。】
系統也發現問題，它啟動自檢程序，從外到內全面搜索。
盛明安喝了杯濃茶，眼中若有所思。
***
藍河科技的每個人都很忙，研發部更是忙得腳不沾地，作為研發部副部長的計海因為被策反而當了商業間-諜，人生頭一次這麽積極來上班，卻也是每天都在辦公室裏喝茶看報。
偶然一天發現研發部突然忙碌起來，計海警覺，以為有了新動作，趕緊喊杜頌進來問話：“研發部是不是有了什麽新突破？姓陳的小子和他那個小白臉情夫最近忙什麽？”
上次塞給杜頌一張存有十萬的銀行-卡，杜頌沒還回來，計海默認他是自己人，這會問話毫無顧忌。
杜頌想起陳驚璆的叮囑，如果計海問話就透露點消息，讓他帶給鄭河。
“研發部在盛神帶領下準備攻破光源系統的核心技術問題，項目已經開啟了。”杜頌如實說：“林工忙著帶領團隊設計芯片，至於陳總，好像在洽談合作、投資之類的。”
計海有點懵，這說了跟沒說有區別？
“進度呢？”
“什麽進度？”
“核心技術？合作投資的項目？！”
“那我哪知道！”
“你——！”
計海覺得自己不該找杜頌這個蠢貨，他忍下怒氣小聲勸說：“我跟鴻芯那邊說了，人家表示很歡迎技術人才。你要是想通了，帶點研發部那邊的資料去見鄭總。”
杜頌含糊：“我再想想。”
計海心裏想別的，沒多勸，擺手讓他出去，回頭翹班去找鄭河將杜頌提供的情-報交過去，換來鄭河的冷笑。
“藍河科技一直雙擔IC設計和光刻機的光源系統制造，業界內都知道的消息！林成建的身份，我早查清了！陳驚璆四處拉投資、找合作，到處碰壁，你以為我不知道？！”鄭河有些憤怒：“你耍我？！”
計海擦著額頭冒出的冷汗，慌亂否認：“不不不是……”
鄭河重重冷哼，審度計海的目光如刀片般，似乎對計海的才能產生了懷疑：“那些科研成果真是你的？”
計海連連點頭：“當然都是我的！鄭總，您說我一個搞科研的，怎麽做得來內-應這種事？”
如果不是科研人員大多非長袖善舞，鄭河早踹開計海了。
“雖然你搜來的消息都沒用，不過這也說明藍河科技最近確實處境艱難。”鄭河臉色緩和了些，冷笑著說：“藍河科技拉不到投資，革芯項目沒人看好，陳驚璆居然不想辦法解決迫在眉睫的資金問題，而是跑去各個研究團隊找他們合作攻破光刻機技術！”
“哈哈哈哈……”鄭河搖頭，上下搖晃著食指嘲諷：“蠢！天真！果然還是太年輕！技術是核心沒錯，但這麽做就是緣木求魚！”
攻破核心技術哪有那麽容易？
那些科研團隊從立項到拿到資金再到解決關鍵技術問題並實現產業化，可都不是一朝一夕的事！
陳驚璆以為就他聰明、就他們想到這個聯合技術鏈的辦法？
單說那個光刻機雙工作臺的核心技術，11年獲得國家02專項立項至今，思念過去了還沒出結果。
技術攻破首要是資金，沒有資金學人開什麽公司？做什麽技術開發？
憑那麽點天真熱血的沖動想法而忽略了腳下不牢靠的基石，太蠢了。
鄭河如是冷漠傲慢的想著，打發走計海，將消息簡單匯報給陳天鶴。
陳天鶴正從私人專機上下來，落到美國的土地上。
“陳驚璆的事以後不用跟我說。”陳天鶴冷漠的說。
他擡頭觀看這座燈火通明的城市——
加利福尼亞州聖疊戈市，高通總部。
陳天鶴此行的目的。
***
光源系統是光刻機制造的核心，是晶圓光刻工程的起始步，與光刻工程後續每一步息息相關。
光源系統主要三大單元是光的產生、收集和均一化，初代光刻機的光源系統還包括光的純化，但第四代、第五代的激光器產生的光源已經達到要求，只需要讓光均勻化就行。
光是雕刻的工具，由激光器產生，涉及三項技術指標即光刻分辨率、套刻精度和產能。
光刻分辨率有一道計算公式，照公式調整影響因數從而提高光刻分辨率，這方面難度不大，但是受掩膜設計、抗蝕劑工藝等牽制，必須同時達到最佳化才能實現理想的光刻分辨率。
套刻精度與光刻分辨率相關，直接受其影響。
至於產能，則與光源系統的穩定相關。
以上是對激光器的要求，相對整個光源系統的技術要求不算高，系統工程程序中最難的步驟是光的收集。
收集難度大，轉化效率也低。
雷客坐在電腦前，操縱鼠標在軟件裏做精密的計算：“所需的極紫外光必須在真空下進行反射，不能被折射，因為它非常容易被吸收。真空腔內的反射鏡需要特殊鍍膜，把這束光，從光源一路引導到晶圓……經過十幾次反射，最終剩下的光線不到2%！”
圍觀過來的研發部成員倒吸一口涼氣，雖早知光源轉化率低，但聽到這數字還是低得讓他們心疼。
光源轉化率低就意味著能量的巨大消耗，最直觀的例子，一臺EUV機器輸出功率兩百瓦左右，工作一天，耗電三萬度。
光線利用率不到2%已經是優化其他性能所能夠得到的最佳數據，決定該性能優化的決定性關鍵就是反射鏡的精度。
“精度必須以皮秒來計算。”
換句話說，光刻機所需的反射鏡精度必須打磨到萬億分之一米。
盛明安：“用矽和鉬反覆鍍膜，直到光線利用率達到國際標準。”
當下有人反駁：“都是納米級鍍膜，反覆鍍膜也會影響精度，工藝太難了！”
難度多大？
最淺顯易懂的比喻便是將一面直徑不超過四十厘米的反射鏡放大至覆蓋地面，其平面起伏不能超過一根頭發的直徑。
而光刻機所需的反射鏡多達四五十層，平面精度一層比一層要求更平整。
全球只有德國蔡司這家傳承三代以上的企業才造得出這種反射鏡。
當然，反射鏡不對華出口。
盛明安：“不用擔憂反射鏡能不能被打磨出來，你們只需要盡己所能考慮反射鏡在光的收集和轉化率這一單元裏，能夠被如何利用到極致。”
“數據、模型，不管失敗成功，統統記錄下來。”
盛明安語速打機關-槍似的，斬釘截鐵、不容置喙，仿佛難度高到爆表的光源系統在他眼裏層次分明、井然有序，所有的技術難點都可以被輕松解決。
他胸有成竹，心有溝壑。
他不必開口安慰，只要用平淡輕松的口氣下達每一道指令就能安定實驗室每個人退怯、不自信的心。
“杜頌，打開你的Modelica先進行初步的超精密激光器建模仿真。”
Modelica是一款可實現覆雜的物理系統仿真建模的計算機語言軟件，可用於光刻機某些超精密部件的仿真建模。
杜頌：“已在創建。”
他領著自己小組成員低頭忙碌。
“雷客，你調整一下光路結構。”
“好。”雷客示意助手打開OPC（光學鄰近矯正）軟件，通過模型動態仿真結果計算查找表修正光與圖案。
盛明安匍匐在桌案，設計市場需求的激光光源，就目前的技術發展而言，光刻機激光光源仍以激光等離子體為主。
驅動光源產生的碎屑數量，光譜純度，每提高一個技術節點消耗的功率和產能……其實日前最先進的EUV，其功率消耗大、產能低，再過五六年也未能完美解決這兩個問題。
可盛明安不清楚。
他雖不願用前世記憶盜竊他人成果提前制造出國產光刻機，可前世是他完美解決EUV產能低的問題，因此習慣性順手將這難題歸入待解決列表之一。
以至於後來一舉攻破該技術節點實現反超ASML目標，實屬意料之外。
***
15年5月份左右，國際半導體發生了一件大事。
ASML官網對外發布突破光刻機量產瓶頸，正式對外售出可量產14nm極紫外光刻機！
此舉瞬間激起千層浪，全球各界媒體報道不休，半導體發燒友熱鬧得跟過年一樣紛紛發表討論。國內貼吧、技術論壇和逼乎新帖不斷，基本都是討論ASML這一舉措將帶來怎麽的影響。
【光刻巨人：ASML真正的崛起！】
國內科技網對ASML的新聞標題被搬到國內電子發燒友論壇，論壇主搬來這標題就已經表明了他對未來全球半導體地位的劃分認可。
【如標題所說，從今以後，ASML是唯一的光刻巨人！】
【佳能、尼康的時代消失了，光刻機百花齊放共競爭的時代一去不覆返，將來只有ASML一騎絕塵的身影！】
【雖然不想承認，但歐美又在一個重要的領域裏實現了科技霸權！】
【諸位，配合英特爾、高通今年年初發布的將於15年實現14nm核心處理器、年末實現10nm核心處理器的新聞發布會食用，而國產光刻機還停留在365nm光波長的第三代光刻機技術節點！】
【拉開了兩代，落後二十年。】
【華國被死死扼住半導體產業的喉嚨……】
【感到窒息。】
另一個貼沒有這麽喪氣，但基本是在吹ASML，回顧ASML的歷程，曾經也不過是個半生不死的小公司……
【誰還能記得曾經的ASML瀕臨倒閉？】
【那時候的尼康和佳能才是霸權半導體領域的大佬，可惜封殺了臺積電林大佬的浸潤技術emmmm結果最後被ASML撿漏。】
【ASML的崛起之路從這一步開始[滑稽]。】
【命運真是奇妙，誰能料到最後會是名不見經傳的阿斯麥爾搶先一步研發出第五代光刻機？】
【小聲插一句，我國有機會研發14nm光刻機嗎？】
【？？ASML肯賣給我們一臺EUV就偷笑了，還自主研發？做夢呢！】
【肯定告訴你：有！二十年後！】
【不過那個時候的半導體可能已經發生翻天覆地的變化，摩爾定律失效，現有的光刻機技術臻至極限不再寸進，或許出現了新的機器替代光刻機，量子定律取代摩爾定律……我們再次被甩開二十年。】
【也不必這麽悲觀，或許二十年後，華國光刻機技術實現超英趕美。】
【摩爾定律沒那麽輕易被取代，你以為重新誕生一個定律很容易？】
【盛神不是解決了量子糾錯的難題嗎？很多人深受鼓舞，投入量子課題研究。只要某個領域天才成群結隊而來，天大的難題被解決也只是時間的問題。】
……
【怎麽跑題了？】
【說回正題，祈禱美帝不會一個看我們不爽就對我們實行芯片制裁吧。】
【什麽意思？】
【ASML控股大頭是美帝公司！】
藍河科技。
林成建步伐匆匆進入研發部的休息室，室內盛明安和陳驚璆都在，還有雷客、杜頌等人，他們一邊吃中午飯一邊繼續商討研究項目。
“看到最新消息沒有？”
盛明安：“ASML EUV發布會。”
“對！”林成建坐下來擦汗，接過雷客倒來的水說：“現在全球訂單飛向ASML，一臺售價1.2億美金，訂單排到了18年。”
光刻機工藝覆雜，就算是ASML一年也只能造出十幾臺。
“華芯的人也去下訂單。”
杜頌急問：“怎麽樣？”
盛明安不用問也知道結果，陳驚璆則安靜的挑出碗裏的辣子雞塊規整放到一旁的飯盒蓋上，然後推給盛明安。
陳驚璆：“我不吃辣。”
盛明安擡眼，掃了眼他那碗幾乎沒動過的辣子雞，相信了。
辣子味道又香又麻不嗆喉嚨，雞肉嫩滑多汁，吸收了辣子的香味，吃起來很刺激舌尖。
盛明安很喜歡，他說：“謝謝。”
陳驚璆笑看著他。
對面一姑娘來回看兩人，心想盛神跟老板太基了吧。
林成建：“被拒絕了。”
杜頌：“艹！”
其他人心情激憤卻也無可奈何，誰讓他們的技術就是落後人家十幾二十年？
落後活該挨打唄。
歐美各國遵守的《瓦森納協議》就是專門針對禁止對華輸入高階精密科學儀器和技術，ASML不敢違背協議，自然拒絕對華銷售EUV。
沒有EUV，他們還得從臺積電，從英特爾、高通等美帝企業那兒購買芯片，巴巴送錢過去看人臉色。
休息室眾人情緒低沈，盛明安察覺不到，自顧自吃飯，吃完了就拿起手邊的熱水慢吞吞喝兩口解膩，渾身通透的舒服。
作者有話要說：光刻機是真的難啊，太難了。
連概括它的技術難點都概括不過來的困難，從頭到腳就一個字：難！
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藍河科技最基礎的部署戰略已走出第一步, 一條攻破高階國產光刻機技術的科技鏈已有了雛形，接下來的技術攻破才是重中之重的難點。
盛明安和沈問冰談完具體的細節以及一些ArF光刻膠技術難點的看法後，離開甬城, 回到津市，而沈問冰就ArF光刻膠及配套材料研發項目收集資料, 準備申請立項，估計通過幾率很高。
高端光刻膠及配套材料的研發和產業化本來就在國家02專項項目裏, 按前世軌跡, ArF光刻膠（193nm光刻膠）將在三年後由南大光電申請通過立項, 獲得國家科研基金資助, 於立項後的兩年內完成驗收。
現在盛明安介入, 也只是提前讓ArF光刻膠被研發出來, 研發團隊和專項所屬權仍然屬於原主。
盛明安完成初步戰略部署後, 馬不停蹄趕回藍河科技研發部準備光源系統的研發，幾乎沒有停下來喘口氣的機會。
不只是他, 整個藍河科技所有人都像陀螺似的忙得暈頭轉向。
系統好奇盛明安為什麽不自己獨立攻破光刻機所有核心技術？
他有前世的記憶, 他熟知光刻機幾十上百項核心技術, 足以輕而易舉的攻破，而不必像現在這樣全國四處尋找科研團隊，費盡口舌說服他們跟藍河科技合作。
如果盛明安一個人研發出光刻機, 所有專利都將屬於他。
專利帶來的財富和名譽源源不斷, 國內任何一家科技公司想為他生產制造光刻機的材料譬如晶圓、光刻膠或者雙工作臺，都得花錢從他手中買下生產這些材料的專利費用, 更別提之後完成的高階光刻機。
甚至他能夠直接畢業，學校為他開綠燈，說不定還會給他一個國家院士和名譽教授。
這真不是開玩笑的！
光刻機的地位就是如此重要！
而且只要盛明安攻破這些技術難題，再交由藍河科技研發部完善, 他們也不用跟著他這麽大費周章的為革芯的未來鋪路。
系統很好奇，於是這麽問出口。
盛明安正在設計覆雜的光源系統，聞言楞了下，回頭看了眼身後忙碌的團隊。
右手邊的助手是個戴眼鏡的年輕姑娘，註意到盛明安的目光便輕聲問：“老板，您想來杯黑咖啡嗎？”
姑娘剛走出學校的實驗室沒多久，還習慣喊團隊領導‘老板’。
盛明安：“倒點濃茶就行。”
姑娘起身，拿起他桌邊的杯子就去倒茶水了。
系統：【宿主，是我問你。】
盛明安揉著太陽穴，感覺草稿本的字有點花，不知道是太疲憊還是有近視的風險，他前世長期伏案寫算因此輕度近視。
‘嗯。’
系統催促：【宿主？】
盛明安思索片刻，在姑娘倒了濃茶過來時輕聲回謝謝，便在腦海裏回答系統：‘不是我的東西。’
就是很簡單的理由，那不是他的東西，就算前世學過的那些攻破技術難點的知識現在屬於他，可是被創造出來的技術不屬於他。
而光刻機固然重要，卻不到火燒眉頭的地步，不需要搶奪原該屬於他人的運道。
他說：‘為什麽問我這個問題？’
系統：【因為我不理解。】
盛明安：‘你不該比我更了解嗎？’
系統：【？】
盛明安：‘你沒有發現？黑科技程序給出的每一道關卡，看似是未來的黑科技，實則基礎建立在過去物理偉人的理論和發現，只不過程序將它們歸納起來激發了我的靈感。’
連續破解兩道關卡後，盛明安才看透黑科技程序的套路，無論是關卡還是所謂獎勵要麽只是告訴他一道答案本來就是必然的結果，要麽給了似是而非的所謂提醒，他再根據這些已有的提醒和前人的結論不斷深思、追尋和解鎖，才得出屬於他的成果。
盛明安不知道前世沒有他，除了光刻機之外，量子糾錯的算法、拍瓦級激光系統方案究竟會是誰解決。
他有些好奇，於是問出來。
系統：【……不知道。】
盛明安：‘？’
系統：【記錄被銷毀了。】
盛明安：‘記錄沒銷毀前，你也不知道？’
系統：【不記得。】
系統也發現問題，它啟動自檢程序，從外到內全面搜索。
盛明安喝了杯濃茶，眼中若有所思。
***
藍河科技的每個人都很忙，研發部更是忙得腳不沾地，作為研發部副部長的計海因為被策反而當了商業間-諜，人生頭一次這麽積極來上班，卻也是每天都在辦公室裏喝茶看報。
偶然一天發現研發部突然忙碌起來，計海警覺，以為有了新動作，趕緊喊杜頌進來問話：“研發部是不是有了什麽新突破？姓陳的小子和他那個小白臉情夫最近忙什麽？”
上次塞給杜頌一張存有十萬的銀行-卡，杜頌沒還回來，計海默認他是自己人，這會問話毫無顧忌。
杜頌想起陳驚璆的叮囑，如果計海問話就透露點消息，讓他帶給鄭河。
“研發部在盛神帶領下準備攻破光源系統的核心技術問題，項目已經開啟了。”杜頌如實說：“林工忙著帶領團隊設計芯片，至於陳總，好像在洽談合作、投資之類的。”
計海有點懵，這說了跟沒說有區別？
“進度呢？”
“什麽進度？”
“核心技術？合作投資的項目？！”
“那我哪知道！”
“你——！”
計海覺得自己不該找杜頌這個蠢貨，他忍下怒氣小聲勸說：“我跟鴻芯那邊說了，人家表示很歡迎技術人才。你要是想通了，帶點研發部那邊的資料去見鄭總。”
杜頌含糊：“我再想想。”
計海心裏想別的，沒多勸，擺手讓他出去，回頭翹班去找鄭河將杜頌提供的情-報交過去，換來鄭河的冷笑。
“藍河科技一直雙擔IC設計和光刻機的光源系統制造，業界內都知道的消息！林成建的身份，我早查清了！陳驚璆四處拉投資、找合作，到處碰壁，你以為我不知道？！”鄭河有些憤怒：“你耍我？！”
計海擦著額頭冒出的冷汗，慌亂否認：“不不不是……”
鄭河重重冷哼，審度計海的目光如刀片般，似乎對計海的才能產生了懷疑：“那些科研成果真是你的？”
計海連連點頭：“當然都是我的！鄭總，您說我一個搞科研的，怎麽做得來內-應這種事？”
如果不是科研人員大多非長袖善舞，鄭河早踹開計海了。
“雖然你搜來的消息都沒用，不過這也說明藍河科技最近確實處境艱難。”鄭河臉色緩和了些，冷笑著說：“藍河科技拉不到投資，革芯項目沒人看好，陳驚璆居然不想辦法解決迫在眉睫的資金問題，而是跑去各個研究團隊找他們合作攻破光刻機技術！”
“哈哈哈哈……”鄭河搖頭，上下搖晃著食指嘲諷：“蠢！天真！果然還是太年輕！技術是核心沒錯，但這麽做就是緣木求魚！”
攻破核心技術哪有那麽容易？
那些科研團隊從立項到拿到資金再到解決關鍵技術問題並實現產業化，可都不是一朝一夕的事！
陳驚璆以為就他聰明、就他們想到這個聯合技術鏈的辦法？
單說那個光刻機雙工作臺的核心技術，11年獲得國家02專項立項至今，思念過去了還沒出結果。
技術攻破首要是資金，沒有資金學人開什麽公司？做什麽技術開發？
憑那麽點天真熱血的沖動想法而忽略了腳下不牢靠的基石，太蠢了。
鄭河如是冷漠傲慢的想著，打發走計海，將消息簡單匯報給陳天鶴。
陳天鶴正從私人專機上下來，落到美國的土地上。
“陳驚璆的事以後不用跟我說。”陳天鶴冷漠的說。
他擡頭觀看這座燈火通明的城市——
加利福尼亞州聖疊戈市，高通總部。
陳天鶴此行的目的。
***
光源系統是光刻機制造的核心，是晶圓光刻工程的起始步，與光刻工程後續每一步息息相關。
光源系統主要三大單元是光的產生、收集和均一化，初代光刻機的光源系統還包括光的純化，但第四代、第五代的激光器產生的光源已經達到要求，只需要讓光均勻化就行。
光是雕刻的工具，由激光器產生，涉及三項技術指標即光刻分辨率、套刻精度和產能。
光刻分辨率有一道計算公式，照公式調整影響因數從而提高光刻分辨率，這方面難度不大，但是受掩膜設計、抗蝕劑工藝等牽制，必須同時達到最佳化才能實現理想的光刻分辨率。
套刻精度與光刻分辨率相關，直接受其影響。
至於產能，則與光源系統的穩定相關。
以上是對激光器的要求，相對整個光源系統的技術要求不算高，系統工程程序中最難的步驟是光的收集。
收集難度大，轉化效率也低。
雷客坐在電腦前，操縱鼠標在軟件裏做精密的計算：“所需的極紫外光必須在真空下進行反射，不能被折射，因為它非常容易被吸收。真空腔內的反射鏡需要特殊鍍膜，把這束光，從光源一路引導到晶圓……經過十幾次反射，最終剩下的光線不到2%！”
圍觀過來的研發部成員倒吸一口涼氣，雖早知光源轉化率低，但聽到這數字還是低得讓他們心疼。
光源轉化率低就意味著能量的巨大消耗，最直觀的例子，一臺EUV機器輸出功率兩百瓦左右，工作一天，耗電三萬度。
光線利用率不到2%已經是優化其他性能所能夠得到的最佳數據，決定該性能優化的決定性關鍵就是反射鏡的精度。
“精度必須以皮秒來計算。”
換句話說，光刻機所需的反射鏡精度必須打磨到萬億分之一米。
盛明安：“用矽和鉬反覆鍍膜，直到光線利用率達到國際標準。”
當下有人反駁：“都是納米級鍍膜，反覆鍍膜也會影響精度，工藝太難了！”
難度多大？
最淺顯易懂的比喻便是將一面直徑不超過四十厘米的反射鏡放大至覆蓋地面，其平面起伏不能超過一根頭發的直徑。
而光刻機所需的反射鏡多達四五十層，平面精度一層比一層要求更平整。
全球只有德國蔡司這家傳承三代以上的企業才造得出這種反射鏡。
當然，反射鏡不對華出口。
盛明安：“不用擔憂反射鏡能不能被打磨出來，你們只需要盡己所能考慮反射鏡在光的收集和轉化率這一單元裏，能夠被如何利用到極致。”
“數據、模型，不管失敗成功，統統記錄下來。”
盛明安語速打機關-槍似的，斬釘截鐵、不容置喙，仿佛難度高到爆表的光源系統在他眼裏層次分明、井然有序，所有的技術難點都可以被輕松解決。
他胸有成竹，心有溝壑。
他不必開口安慰，只要用平淡輕松的口氣下達每一道指令就能安定實驗室每個人退怯、不自信的心。
“杜頌，打開你的Modelica先進行初步的超精密激光器建模仿真。”
Modelica是一款可實現覆雜的物理系統仿真建模的計算機語言軟件，可用於光刻機某些超精密部件的仿真建模。
杜頌：“已在創建。”
他領著自己小組成員低頭忙碌。
“雷客，你調整一下光路結構。”
“好。”雷客示意助手打開OPC（光學鄰近矯正）軟件，通過模型動態仿真結果計算查找表修正光與圖案。
盛明安匍匐在桌案，設計市場需求的激光光源，就目前的技術發展而言，光刻機激光光源仍以激光等離子體為主。
驅動光源產生的碎屑數量，光譜純度，每提高一個技術節點消耗的功率和產能……其實日前最先進的EUV，其功率消耗大、產能低，再過五六年也未能完美解決這兩個問題。
可盛明安不清楚。
他雖不願用前世記憶盜竊他人成果提前制造出國產光刻機，可前世是他完美解決EUV產能低的問題，因此習慣性順手將這難題歸入待解決列表之一。
以至於後來一舉攻破該技術節點實現反超ASML目標，實屬意料之外。
***
15年5月份左右，國際半導體發生了一件大事。
ASML官網對外發布突破光刻機量產瓶頸，正式對外售出可量產14nm極紫外光刻機！
此舉瞬間激起千層浪，全球各界媒體報道不休，半導體發燒友熱鬧得跟過年一樣紛紛發表討論。國內貼吧、技術論壇和逼乎新帖不斷，基本都是討論ASML這一舉措將帶來怎麽的影響。
【光刻巨人：ASML真正的崛起！】
國內科技網對ASML的新聞標題被搬到國內電子發燒友論壇，論壇主搬來這標題就已經表明了他對未來全球半導體地位的劃分認可。
【如標題所說，從今以後，ASML是唯一的光刻巨人！】
【佳能、尼康的時代消失了，光刻機百花齊放共競爭的時代一去不覆返，將來只有ASML一騎絕塵的身影！】
【雖然不想承認，但歐美又在一個重要的領域裏實現了科技霸權！】
【諸位，配合英特爾、高通今年年初發布的將於15年實現14nm核心處理器、年末實現10nm核心處理器的新聞發布會食用，而國產光刻機還停留在365nm光波長的第三代光刻機技術節點！】
【拉開了兩代，落後二十年。】
【華國被死死扼住半導體產業的喉嚨……】
【感到窒息。】
另一個貼沒有這麽喪氣，但基本是在吹ASML，回顧ASML的歷程，曾經也不過是個半生不死的小公司……
【誰還能記得曾經的ASML瀕臨倒閉？】
【那時候的尼康和佳能才是霸權半導體領域的大佬，可惜封殺了臺積電林大佬的浸潤技術emmmm結果最後被ASML撿漏。】
【ASML的崛起之路從這一步開始[滑稽]。】
【命運真是奇妙，誰能料到最後會是名不見經傳的阿斯麥爾搶先一步研發出第五代光刻機？】
【小聲插一句，我國有機會研發14nm光刻機嗎？】
【？？ASML肯賣給我們一臺EUV就偷笑了，還自主研發？做夢呢！】
【肯定告訴你：有！二十年後！】
【不過那個時候的半導體可能已經發生翻天覆地的變化，摩爾定律失效，現有的光刻機技術臻至極限不再寸進，或許出現了新的機器替代光刻機，量子定律取代摩爾定律……我們再次被甩開二十年。】
【也不必這麽悲觀，或許二十年後，華國光刻機技術實現超英趕美。】
【摩爾定律沒那麽輕易被取代，你以為重新誕生一個定律很容易？】
【盛神不是解決了量子糾錯的難題嗎？很多人深受鼓舞，投入量子課題研究。只要某個領域天才成群結隊而來，天大的難題被解決也只是時間的問題。】
……
【怎麽跑題了？】
【說回正題，祈禱美帝不會一個看我們不爽就對我們實行芯片制裁吧。】
【什麽意思？】
【ASML控股大頭是美帝公司！】
藍河科技。
林成建步伐匆匆進入研發部的休息室，室內盛明安和陳驚璆都在，還有雷客、杜頌等人，他們一邊吃中午飯一邊繼續商討研究項目。
“看到最新消息沒有？”
盛明安：“ASML EUV發布會。”
“對！”林成建坐下來擦汗，接過雷客倒來的水說：“現在全球訂單飛向ASML，一臺售價1.2億美金，訂單排到了18年。”
光刻機工藝覆雜，就算是ASML一年也只能造出十幾臺。
“華芯的人也去下訂單。”
杜頌急問：“怎麽樣？”
盛明安不用問也知道結果，陳驚璆則安靜的挑出碗裏的辣子雞塊規整放到一旁的飯盒蓋上，然後推給盛明安。
陳驚璆：“我不吃辣。”
盛明安擡眼，掃了眼他那碗幾乎沒動過的辣子雞，相信了。
辣子味道又香又麻不嗆喉嚨，雞肉嫩滑多汁，吸收了辣子的香味，吃起來很刺激舌尖。
盛明安很喜歡，他說：“謝謝。”
陳驚璆笑看著他。
對面一姑娘來回看兩人，心想盛神跟老板太基了吧。
林成建：“被拒絕了。”
杜頌：“艹！”
其他人心情激憤卻也無可奈何，誰讓他們的技術就是落後人家十幾二十年？
落後活該挨打唄。
歐美各國遵守的《瓦森納協議》就是專門針對禁止對華輸入高階精密科學儀器和技術，ASML不敢違背協議，自然拒絕對華銷售EUV。
沒有EUV，他們還得從臺積電，從英特爾、高通等美帝企業那兒購買芯片，巴巴送錢過去看人臉色。
休息室眾人情緒低沈，盛明安察覺不到，自顧自吃飯，吃完了就拿起手邊的熱水慢吞吞喝兩口解膩，渾身通透的舒服。
作者有話要說：光刻機是真的難啊，太難了。
連概括它的技術難點都概括不過來的困難，從頭到腳就一個字：難！
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