☆332.第331章研發光刻機
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第331章 研發光刻機
第333章 研發光刻機
芯片光刻機,也就是掩模對準曝光機,原理其實類似底片重印,利用光刻機發出的光,通過具有圖形的光罩,對塗有光刻膠的薄片(就是掩膜)曝光,光刻膠見光後會發生性質變化,使光罩上的圖形覆印到薄片上,從而讓薄片具有電子線路圖的作用。
說穿了,光刻機也不過是個機器,只要母機精度足夠,有合適的控制系統,而國內激光水平一直不錯,再找到尼康的高級鏡頭,就沒有造不出來的!
而印刷線路圖必須用掩膜版,掩膜刻蝕的精度,決定了芯片的精度。
這個國內一直都在用六七十年代的進口設備和材料,已經不太先進,想趕超386,也要升級換代。
掩膜是用激光直寫機,在掩膜基板上塗上光學膜和其他化學試劑,進行刻蝕的。采用激光為輻射源的直寫光刻設備領域,
激光直寫機的主要廠商為瑞典Mycronic、德國Heidelberg等企業,其中瑞典Mycronic處於全球領先地位。
而基板必須做到絕對平整光滑,
有石英版、玻璃版、金屬版等幾種,
70年代以後,用的大都是合成石英版。
是用SiCI4作為原料,采用氣相沈積生產合成的。
其原理,先生產易揮發的液體SiCI4,
在在載料氣體的帶動下,進入氫氣氧氣燃燒氣中,
與水蒸氣反應生成不定型二氧化矽,
然後並沈積在高溫旋轉的靶材上,
最終熔化形成高純石英玻璃。
這種合成石英,具有寬的光投射鋁區域,低的雜質含量和少的物理缺陷的特性。
這方面,東洋的信越化學和東曹石英是領軍。
作為大國,我國也有一家重要廠商,就是沙市石英玻璃總廠,屬原建材部九家重點石英玻璃生產廠家之一。
改制後,這個廠叫做菲利華,是一家上市公司,是全球少數幾家能生產石英纖維,也就是光纖的公司之一,也是國內唯一能夠量產合成石英光掩模基板的公司。
此外還有一種蘇打玻璃鉻板技術,是六十年代的技術,441所一直在用,但以後肯定是要淘汰的。
根據木桶原理,漏水總在有短板的地方,
劉光福決定,一定要在掩板和光刻機兩條腿走路,齊頭並進,一起發展。
可是,大多數人現在還認識不到未來科技發展方向。
比如沙市石英玻璃總廠,是未來的光纖科技領域,更是不可或缺的,現在居然歸建材部管轄。
劉光福跟老侯說了,想要把這家廠子劃歸電子部管轄。
這當然不容易,但也不是不能,過去幾個部和中科院的科研院所,經常在會上被劃來劃去,
現在雖然講效益了,只要做通了工作,也可以通過部委結算後劃歸想買的部門。
劉光福,首先帶著傻柱,還有老侯去找大領導。
傻柱已經被鬼大人放回來了,跟婁曉娥在香江也登記結了婚。
但於海棠不甘示弱,說飯館快倒閉了。
何大清也不斷催促,傻柱還是回到了四九城。
婁曉娥不甘心失敗,也回來開了個飯館,就是電視裏那個。
兩人都要傻柱當大廚,傻柱為了應付兩個人,只能兩頭跑,每家飯館去一天,實在忙不過來,幹脆叫何大清盯一個飯館。
劉光福知道,冶金部和建材部關系密切,比較好說話。
建材部門的大領導,吃了傻柱一頓飯,聽劉光福說這件事,頗為詫異,聽了劉光福講述,沒想到普普通通的玻璃,未來居然有這麽大用場,很快就同意了,把這家企業業務分成兩半,一半依然做普通玻璃,另一半做玻璃纖維。
劉光福奔赴沙市,找到了這家沙市石英玻璃總廠,廠領導立刻隆重接待,
劉光福道:“這是我從大領導那裏拿到的文件,來不及等待下發了,你們從現在開始立刻轉型,研究高純石英玻璃!”
總工一頭霧水,劉光福便按照過去度娘百科的知識,給他講解了一遍。
有了高純石英玻璃,就可以制造光纖。
將純凈的二氧化矽燒融,可以拉制出高透明的石英纖維,
激光等光信號,可以在石英纖維的通路中,發生無數次全反射而向前傳輸,所謂光纖通信系統,就是利用光纖來傳輸攜帶信息的光波,以達到通信的目的。
光纖通信容量極高,一根頭發絲那麽細的石英纖維可以同時傳輸256通電話,不怕竊聽,具有高度的保密性。
1974美國貝爾研究所發明了低損耗光纖制作法,就是化學氣相沈積法,使光纖傳輸損耗降低,
1977年時,外國第一條光纖已經投入商業應用,而1980年,多模光纖開始應用,速率達到140兆每秒。
現在,奮起直追其實還來得及,劉光福帶來了一百萬元投資,集中力量,研發化學氣相沈積法,
其實玻璃纖維在航天航空上都有應用,這家廠子不止一次承擔過科研任務,但都是用作隔熱材料,還沒有聽說用於
廠裏的總工,苦於無法制備更純凈的玻璃,一聽劉光福的信息,十分震驚:“你是說,用把玻璃燒成氣體這種法子”
劉光福道:“對,咱們現在就試試!”
有了劉光福提供的基本原理,廠裏總工很快就做了實驗,得到了一塊純度很高的石英玻璃。
總工十分振奮,道:“這並沒有什麽難的,相信我們很快就能做出來!”
劉光福道:“嗯,但是這塊基板需要十分平整,我們要加工一塊極度平整的玻璃模板,今後沈積就在這板子上進行。”
然後,劉光福和總工共同確立了檢驗標準,
一個月後,一塊合格的石英基板就誕生了。
接下來,總工帶人熱火朝天地開始研究光纖,說的形象點,光纖就是玻璃絲,拉光纖的過程,其實就類似於小時候的拔絲白薯。
把微細的光纖封裝在塑料護套中,使得它能夠彎曲而不至於斷裂
而現在用的還是蘇打玻璃,
在80年代末,一捧搖搖擺擺,下部發光,絢麗多彩的光纖花束,還被當做一種時髦的裝飾物,結婚時婚房裏很流行。
劉光福也不放棄這個發財機會,告訴總工,沒拉好的玻璃絲都給自己留著,自己當工藝品賣。
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第333章 研發光刻機
芯片光刻機,也就是掩模對準曝光機,原理其實類似底片重印,利用光刻機發出的光,通過具有圖形的光罩,對塗有光刻膠的薄片(就是掩膜)曝光,光刻膠見光後會發生性質變化,使光罩上的圖形覆印到薄片上,從而讓薄片具有電子線路圖的作用。
說穿了,光刻機也不過是個機器,只要母機精度足夠,有合適的控制系統,而國內激光水平一直不錯,再找到尼康的高級鏡頭,就沒有造不出來的!
而印刷線路圖必須用掩膜版,掩膜刻蝕的精度,決定了芯片的精度。
這個國內一直都在用六七十年代的進口設備和材料,已經不太先進,想趕超386,也要升級換代。
掩膜是用激光直寫機,在掩膜基板上塗上光學膜和其他化學試劑,進行刻蝕的。采用激光為輻射源的直寫光刻設備領域,
激光直寫機的主要廠商為瑞典Mycronic、德國Heidelberg等企業,其中瑞典Mycronic處於全球領先地位。
而基板必須做到絕對平整光滑,
有石英版、玻璃版、金屬版等幾種,
70年代以後,用的大都是合成石英版。
是用SiCI4作為原料,采用氣相沈積生產合成的。
其原理,先生產易揮發的液體SiCI4,
在在載料氣體的帶動下,進入氫氣氧氣燃燒氣中,
與水蒸氣反應生成不定型二氧化矽,
然後並沈積在高溫旋轉的靶材上,
最終熔化形成高純石英玻璃。
這種合成石英,具有寬的光投射鋁區域,低的雜質含量和少的物理缺陷的特性。
這方面,東洋的信越化學和東曹石英是領軍。
作為大國,我國也有一家重要廠商,就是沙市石英玻璃總廠,屬原建材部九家重點石英玻璃生產廠家之一。
改制後,這個廠叫做菲利華,是一家上市公司,是全球少數幾家能生產石英纖維,也就是光纖的公司之一,也是國內唯一能夠量產合成石英光掩模基板的公司。
此外還有一種蘇打玻璃鉻板技術,是六十年代的技術,441所一直在用,但以後肯定是要淘汰的。
根據木桶原理,漏水總在有短板的地方,
劉光福決定,一定要在掩板和光刻機兩條腿走路,齊頭並進,一起發展。
可是,大多數人現在還認識不到未來科技發展方向。
比如沙市石英玻璃總廠,是未來的光纖科技領域,更是不可或缺的,現在居然歸建材部管轄。
劉光福跟老侯說了,想要把這家廠子劃歸電子部管轄。
這當然不容易,但也不是不能,過去幾個部和中科院的科研院所,經常在會上被劃來劃去,
現在雖然講效益了,只要做通了工作,也可以通過部委結算後劃歸想買的部門。
劉光福,首先帶著傻柱,還有老侯去找大領導。
傻柱已經被鬼大人放回來了,跟婁曉娥在香江也登記結了婚。
但於海棠不甘示弱,說飯館快倒閉了。
何大清也不斷催促,傻柱還是回到了四九城。
婁曉娥不甘心失敗,也回來開了個飯館,就是電視裏那個。
兩人都要傻柱當大廚,傻柱為了應付兩個人,只能兩頭跑,每家飯館去一天,實在忙不過來,幹脆叫何大清盯一個飯館。
劉光福知道,冶金部和建材部關系密切,比較好說話。
建材部門的大領導,吃了傻柱一頓飯,聽劉光福說這件事,頗為詫異,聽了劉光福講述,沒想到普普通通的玻璃,未來居然有這麽大用場,很快就同意了,把這家企業業務分成兩半,一半依然做普通玻璃,另一半做玻璃纖維。
劉光福奔赴沙市,找到了這家沙市石英玻璃總廠,廠領導立刻隆重接待,
劉光福道:“這是我從大領導那裏拿到的文件,來不及等待下發了,你們從現在開始立刻轉型,研究高純石英玻璃!”
總工一頭霧水,劉光福便按照過去度娘百科的知識,給他講解了一遍。
有了高純石英玻璃,就可以制造光纖。
將純凈的二氧化矽燒融,可以拉制出高透明的石英纖維,
激光等光信號,可以在石英纖維的通路中,發生無數次全反射而向前傳輸,所謂光纖通信系統,就是利用光纖來傳輸攜帶信息的光波,以達到通信的目的。
光纖通信容量極高,一根頭發絲那麽細的石英纖維可以同時傳輸256通電話,不怕竊聽,具有高度的保密性。
1974美國貝爾研究所發明了低損耗光纖制作法,就是化學氣相沈積法,使光纖傳輸損耗降低,
1977年時,外國第一條光纖已經投入商業應用,而1980年,多模光纖開始應用,速率達到140兆每秒。
現在,奮起直追其實還來得及,劉光福帶來了一百萬元投資,集中力量,研發化學氣相沈積法,
其實玻璃纖維在航天航空上都有應用,這家廠子不止一次承擔過科研任務,但都是用作隔熱材料,還沒有聽說用於
廠裏的總工,苦於無法制備更純凈的玻璃,一聽劉光福的信息,十分震驚:“你是說,用把玻璃燒成氣體這種法子”
劉光福道:“對,咱們現在就試試!”
有了劉光福提供的基本原理,廠裏總工很快就做了實驗,得到了一塊純度很高的石英玻璃。
總工十分振奮,道:“這並沒有什麽難的,相信我們很快就能做出來!”
劉光福道:“嗯,但是這塊基板需要十分平整,我們要加工一塊極度平整的玻璃模板,今後沈積就在這板子上進行。”
然後,劉光福和總工共同確立了檢驗標準,
一個月後,一塊合格的石英基板就誕生了。
接下來,總工帶人熱火朝天地開始研究光纖,說的形象點,光纖就是玻璃絲,拉光纖的過程,其實就類似於小時候的拔絲白薯。
把微細的光纖封裝在塑料護套中,使得它能夠彎曲而不至於斷裂
而現在用的還是蘇打玻璃,
在80年代末,一捧搖搖擺擺,下部發光,絢麗多彩的光纖花束,還被當做一種時髦的裝飾物,結婚時婚房裏很流行。
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